中古 ZEISS A20 #9245012 を販売中

ZEISS A20フォトレジスト装置は、微細加工用フォトレジストの開発を容易にするために設計された半自動システムです。光露光を正確に自動制御できる独自の統合設計と、フォトレジスト基板の高分解能露光を提供する統合CO2レーザーユニットを備えています。A20フォトレジストマシンはステンレス製で、人間工学に基づいたデザインとタッチスクリーンを内蔵しており、露出パラメータを正確に自動制御できます。シングルステップ露光とマルチステップ露光の両方を提供し、高精度な露光レベルを提供するデュアルステージデジタル信号処理（DSP）を備えています。さらに、このツールはスポットサイズ、ビーム偏光/向き、シャッタースピードと強度を正確に制御できます。シングルステップ露光用に、ZEISS A20フォトレジストアセットは、タッチスクリーンインターフェイスを介して制御および調整される最大5つのCO2レーザーソースを使用します。マルチステップ露出を実行する場合、モデルには露出サイクルパターンを調整するために使用されるプログラマブルコントローラが含まれています。この装置のCO2レーザーは、フォトレジスト基板の高分解能露光を提供し、より低い電圧でも高い光速度を発揮し、さらに高精度で方向性の高い露光を提供する超薄型レーザーを提供します。また、露出ごとに基板が自動的に整列するため、写真リソグラフィープロセスの精度と精度が向上し、正確な登録が保証されます。A20フォトレジストシステムには、基板表面処理用の自動クリーニングステーションとフォトレジストコーティングプロセス用のクリーンルームも含まれています。クリーンルームは、基板上のフォトレジストの寸法安定性を確保するために窒素で満たされています。ZEISS A20フォトレジストユニットは、最先端の微細加工技術を提供し、高度なオプトエレクトロニクス、マイクロ流体、バイオメディカルデバイスなど、幅広いアプリケーション分野に最適です。