中古 ZEISS A20 #9081688 を販売中

ZEISS A20は、リソグラフィ工程で使用されるフォトレジスト機器です。このシステムは、半導体、ディスプレイ、およびマイクロエレクトロメカニカルシステム（MEMS）の製造におけるパターンを作成するための重要なツールです。A20は、特許取得済みの液面アライメント技術を使用して、光学系とターゲット基板を正確に整合させます。ZEISS A20ユニットは、高精度の4軸モーションステージ、マスクとウェハステージ、スキャンとステッピングモーターを備えています。4軸モーションステージは、リソグラフィープロセス中にコンポーネントの正確な動きを保証します。スキャンとステッピングモータは、ステージ上の光学要素を移動させて、基板に対して正確に配置します。マスクとウェーハステージにより、自動交換メカニズムにより、より高速なウェーハ交換が可能です。A20は高解像度パターニング用に設計されており、NA （Numerical Aperture）が高い独自の光学設計を特徴としています。非接触型レーザーアライメントマシンは、光路における光学部品のより正確な位置決めを実現します。これにより、より直線的な写真定義可能なパターンが保証されます。ZEISS A20には、フォトリソグラフィープロセスの自動化と制御のためのフルスイートのソフトウェアが含まれています。これには、自動レシピと結果を最適化するための拡張プロセス制御が含まれます。ソフトウェアには、OPC、 lithoシミュレーション、およびプロセス最適化のためのアルゴリズムが含まれています。A20は、KrF、 ArF、 EUVリソグラフィなどの光源も利用しています。このツールは、半導体加工で一般的に使用される化学物質、フォトレジスト、エッチング剤と互換性があるように構築されています。ZEISS A20フォトレジストアセットは、高度なフォトリソグラフィ技術を開発するための不可欠なツールです。高精度の部品と自動化された機能により、半導体製造に関連するさまざまなアプリケーションに最適です。A20は、コンパクトな設計と高性能により、正確なパターニング結果を達成するための費用対効果の高い選択肢です。