中古 YUASA Unicorn #293806434 を販売中

ユアサユニコーン（YUASA Unicorn）は、ユアサ株式会社が開発・製造するフォトレジスト機器です。ウェハレベルのパッケージングやMEMSなど、さまざまな用途に使用される業界で最も人気のあるフォトレジストシステムの1つです。ユニコーンフォトレジストシステムは4つの部分で構成されています。最初の部分はフォトレジスト素材です。ユアサユニコーンのフォトレジスト素材は、アクリルベースの電子ビーム（Eビーム）正光素材で、高解像度でエッチング抵抗性に優れています。これらの特性により、低温エッチング、半導体デバイス製造、MEMS、ウェハレベルのパッケージングなど、さまざまな用途に最適です。マシンの2番目の部分は露出ユニットです。露光ユニットは、ユニコーンのリニアモーション制御ビームインテグレータで構成されており、Eビーム放射の強度を低減するために使用できるカスタマイズされた石英窓を備えています。パターン歪みを低減し、高解像度のイメージングを可能にします。ツールの3番目の部分は開発ユニットです。YUASA Unicornアセットは、露出した感光膜を除去するために、高度な水系開発ソリューションを使用しています。このソリューションは、優れた解像度とエッチング抵抗を提供し、また、最小の残留物を生成します。Unicornモデルの最後のコンポーネントは、保護層アプリケーターです。これはフォトレジストの上に薄い保護層を適用し、有害な紫外線、物理的損傷、および湿気からそれを保護します。フォトレジストを安全に保管・取り扱い、加工時のパターン歪みを防止します。全体的に、ユアサユニコーンのフォトレジスト機器は、さまざまなアプリケーションのための効率的で信頼性の高いソリューションです。高解像度で優れたエッチング抵抗により、半導体デバイスの製造、ウェハレベルのパッケージング、MEMSなど、さまざまなアプリケーションに最適です。システムの高度な水系開発ソリューションは、優れた解像度とエッチング抵抗を提供し、最小限の残留物を生成し、その保護層は、フォトレジストを確実に保管し、安全に処理することができます。