中古 YUASA SR-8040A #9375925 を販売中

YUASA SR-8040Aは、半導体製造のために設計されたハイエンドの自動フォトレジストプロセス装置です。このモデルは高度に自動化されており、一度に最大10個のウエハに対して15以上のプロセスを処理することができます。YUASA SR-8040 Aは、優れた基板加熱と冷却制御のための独自の5段階熱制御システムを備えています。また、プロセスモニタリングユニットを内蔵しており、より正確なレジストコートの均一性を実現しています。このユニットは、最大8インチまでのさまざまな基板に対応でき、ウェーハのアライメント精度は2。5 µm以内です。また、ダイレクトイメージング用の高輝度UVランプ源も備えています。ランプ源は水晶ガラスによって絶縁される出口窓と高められた紫外線均一性のために設計されています。SR-8040Aは、マスキング、プレベーク、ポストベーク、露出、ポストエクスポージャー、開発、ベーク、エッチング、計測など、さまざまなレジスト処理機能を提供しています。露光ユニットには周波数安定型のLED光源を搭載しており、精密なアライメントが可能です。このマシンはまた、高速と低速の両方の開発とエッチングのプロセスを提供しています。このツールは十分な照射制御で設計されており、ユーザーは線量と時間を正確に制御できます。チャンバー内部は、汚染を除去し、歩留まりを最大化するためのプラズマクリーニングメカニズムで設計されています。タッチパネルのユーザーインターフェイスにより、迅速かつ正確なプロセス設定が可能です。SR-8040 Aは、ユニークな真空プレエッジクリーン機能も備えています。これは、ウェーハ全体に不要なレジストを除去し、意図したレジストのみを残すため、高密度レジストアプリケーションで特に有用です。また、不純物がプロセスチャンバーに入らないようにするためのフロントエンドフィルターを備えています。YUASA SR-8040Aを操作するには、ユーザーは厳格な安全手順に従わなければなりません。適切な訓練は重要です。ユーザーは使用の前に機械の指定および安全議定書に精通していなければなりません。適切なメンテナンスも不可欠です。定期的に回路基板やその他のコンポーネントが正しく機能していることを確認します。YUASA SR-8040 Aは、優れたフォトレジストプロセス制御を提供し、正確な結果を得ることができます。8インチまでの基板から、ダイレクトイメージング用の高強度UV光まで、最高レベルの回路生産を実現するには、このトップオブラインの資産が不可欠です。