中古 YUASA LPC-5211 #9392166 を販売中

YUASA LPC-5211は、高度なパターン回路の製造のために設計されたフォトレジスト機器です。このシステムは、リソグラフィとエッチングプロセスのユニークな組み合わせを利用して、最小寸法マージンで精密で複雑なパターンを生成します。LPC-5211は、光に敏感なフォトレジスト素材をマスクで使用して基板上にパターンを作成するリソグラフィ技術を利用しています。使用される特定のフォトレジスト材料は、最も一般的なフォトレジストがポリメチルメタクリレート（PMMA）としてエポキシサーチであるアプリケーションに基づいて組成が変化する可能性があります。フォトレジスト材料はマスクからの光にさらされ、フォトレジストのコンフォーマル領域は残り、基板の残りの領域は材料を除去するエッチング処理にさらされます。このユニットには、最大5µmのパターン解像度と2µmのステップ解像度を提供する15インチステッパー/スキャナが含まれています。この解像度は、露光ステップ中に非常に正確なパターンとアライメントを提供する独自の2次元レーザー干渉計によってさらに強化されます。YUASA LPC-5211のエッチング工程は、高出力マイクロ波発電機を搭載した酸素系プラズマエッチング機を使用し、高エッチング率と制御深度を実現しています。このツールは、最大0.6µm/minuteの印象的なエッチング速度と10〜40ワットの調整可能な電力で最大1µmのエッチング深さを提供します。LPC-5211には、ガスフロー制御、真空モニタリング、温度制御といった数多くの安全機能が搭載されており、安全で正確なフォトレジスト露出とエッチング処理を実現しています。このアセットは、高価な損傷を防ぐために障害が検出された場合、自己障害診断および自動シャットダウンも可能です。全体的に、YUASA LPC-5211は、高品質で複雑な回路の生産のために設計された信頼性と洗練されたフォトレジストモデルです。高解像度、優れたエッチング速度、安全機能により、さまざまなフォトレジスト用途に最適な機器です。