中古 YUASA DR-8150 #9144818 を販売中

YUASA DR-8150は、使いやすいパッケージで優れた効率的なパフォーマンスを提供するために設計された最先端のフォトレジスト機器です。UVマスキングから一般的なフォトリソグラフィープロセスまで、さまざまな用途で使用できるように設計されています。DR-8150は光源と投影ユニットの両方を含む統合フォトリソグラフィックシステムです。高強度のUVソースを使用して、フォトマスクまたはパターンジェネレータの直接出力の形でパターンにウェーハを露出させます。電動のXY位置決めステージは、露出の正確かつ正確な登録を可能にします。ミリングオプションもあり、マイクロレベルの精度を実現しています。YUASA DR-8150には、LED光源から重水素、金属ハロゲン化物まで、幅広い紫外線光源があります。このマシンは最大200 mW/cm2の強度範囲を達成することができ、高解像度アプリケーションに最適です。高品質のフォトレジストと組み合わせて使用する場合は特に、優れた解像度とコントラストを提供します。DR-8150には、さまざまな自動制御機能も付属しています。内蔵タイマーにより、一定の速度で露光時間を正確に制御できます。それはまた優秀な均等性および鋭いラインを保障するために自動焦点制御を特色にします。ツールコントロールにはリアクティブフィルタアセットも含まれており、露出条件を正確に監視および調整できます。YUASA DR-8150は、フォトリソグラフィ作業のための汎用性と効率的なツールであり、迅速かつ正確な露出を可能にします。エッチング、ドリル加工、フォトニックデバイス加工などの用途に最適です。その幅広いUVソース、自動制御機能、一貫した解像度により、フォトリソグラフィのニーズに最適です。