中古 WERNER MATHIS VF 500 #9069956 を販売中

WERNER MATHIS VF 500フォトレジスト装置は、世界有数の機器メーカーであるMathis Werner社の先進半導体製造のために設計された自動高精度フォトレジストパネルアライメントシステムです。この特定のユニットは、太陽光発電などの太陽電池デバイスのプロセス用途に最適化されています。このマシンは、統合された非接触パネル認識ツールと、精密半自動真空転写モデルと組み合わされた自動化されたアセットで構成され、高度なオートメーションを提供します。真空搬送装置は、高精度なアライメントセンサーにより、基板の位置への迅速かつ信頼性の高い輸送を可能にし、基板の搬送が困難なため、業界をリードするアライメント精度を提供します。フォトレジストパネルシステムは、特許取得済みの飛行時間とレーザープロセスを使用して、ナノメートルレベルでの距離を正確に測定し、1〜2マイクロメートル以内でパネルを正確に整列させます。この高い精度は、手動のアライメント方法で一般的に経験されている不正確さを克服します。このユニットは、CCDカメラ、ステッピングモータ、サーボドライブ、センサー、トライボメーター、フォースメーター、光学パワーメーターなど、さまざまなセンサーとアクチュエータを備えた、プロバーヘッド、フレームマウントトランスポート、コントロールユニット、サポートプラットフォームを含むいくつかの主要コンポーネントで構成されています。プローバーヘッドには、4インチと8インチまでのウェーハとパッケージを運ぶように特別に設計されたサファイアチップ付きセラミックス製の2つのウェーハホルダーがあります。この部品はまた、小さな基板を正確に整列および整列することができる90個の個別調整可能なプローブを備えた大型真空平面を備えています。また、正確な登録のために基板の高さを維持するためのユニークな圧力制御マシンが含まれています。フレームマウント搬送ユニットは、ウェハの動作に必要なモーションコントロールを提供します。トランスポート中に基板の位置と速度を動的に計算するために使用されるリニアエンコーダとステッピングドライバが含まれています。サポートプラットフォームには、CCDカメラやレーザー距離測定ツールなどの統合センサーとアクチュエータが搭載されています。登録エリアに基板を正確に配置し、正確なアライメントとプリアライメントで迅速かつ正確な位置決めを提供します。全体的に、VF 500フォトレジスト資産は、太陽光発電産業の多くのアプリケーションに高精度、高速、信頼性の素晴らしい組み合わせを提供します。また、汎用性の高い設計、正確な登録、堅牢なカスタマーサポートを通じて、ユーザーに低コストの所有権を提供します。