中古 VON ARDENNE Pia Nova #9279044 を販売中

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製造業者
VON ARDENNE
モデル
Pia Nova
ID: 9279044
Glass coating system Type: Horizontal.
VON ARDENNE Pia Novaは、真空コーティング装置メーカーのVON ARDENNEが開発したフォトレジスト機器です。半導体ウェーハ上のナノ構造の製造に使用されるフォトレジストの一種です。Pia Novaシステムは、最先端の材料と生産技術を組み合わせて、ウェーハ上にフォトレジストを超高解像度で堆積させることができます。VON ARDENNE Pia Novaフォトレジストユニットは、独自の技術「Creationthrough Subtractive Deposition (CSD)」を使用しています。これにより、フォトレジストは最小限の廃棄物と非常に薄く均一な堆積物で堆積することができます。CSDプロセスは、PMMA(ポリメチルメタクリレート)の薄膜である薄膜の複数の層からなる「親」積層フォトレジスト層を使用する。この親膜は、望ましいナノ構造を定義するために下層をエッチングするプラズマビームにさらされます。エッチング処理後、Pia Novaマシンはエッチングされたナノ構造をフォトレジスト層の薄く均一な層で埋めることができます。入金されるレジスト層はユーザーによって決定され、VON ARDENNE Pia Novaツールは薄い連続層または複数のより小さい厚い層のレジスト層を入金することができます。フォトレジストの複数の層を堆積する能力は、高解像度コンポーネントの複雑な設計と製造を可能にします。Pia Novaアセットは、特許取得済みのトレイ関連処理モデルを使用して、堅牢で正確なレジストアプリケーションを提供します。トレイは過酸化物や環境に優しい物質に耐性があり、幅広い業界で使用できます。また、真空蒸着技術を使用して、フォトレジストの蒸着がウェーハ全体で均一かつ一貫していることを保証します。最後に、VON ARDENNE Pia Nova装置は完全な熱制御を提供します、ユーザーが適用プロセスの間に抵抗層の温度を正確に制御できることを意味します。これにより、フォトレジストの層がウェーハ全体にわたって均一で均一な厚さで堆積し、ナノ構造の品質と精度がさらに向上します。Pia Novaフォトレジストシステムは、半導体産業のための高品質のナノ構造を製造するための正確で信頼性の高い経済的な方法をユーザーに提供する高度なユニットです。最先端の材料と生産技術を組み合わせたVON ARDENNE Pia Novaマシンは、精度と精度の高いナノ構造を製造するための理想的なマシンです。
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