中古 VERTEQ VPA-1987 #9165582 を販売中

VERTEQ VPA-1987 Photoresist Equipmentは、マイクロファブリケーション用途に使用されるコンピュータ制御、高解像度、真空加工可能なフォトレジストシステムです。このユニットは、高度なマイクロリソグラフィープロセスを使用して、0。05ミクロンの小さいマイクロスケールの特徴サイズと構造を露出し、処理することができます。直径4。4インチのウェーハステージを備えたVPA-1987は、ウェーハハンドリングとローディングを自動化し、正確かつ再現可能な露出と処理結果を提供します。全自動ウエハフリップ機構により、8インチのウエハを長いトラックで加工しても、レジストフィルムや基板の正確なアライメントが保証されます。ウェーハステージは、長方形、正方形、円、または幅4インチまでのパターンを処理するためにも使用できます。このツールには、0。005ミクロン以上の解像度を持つ高解像度の接触印刷ヘッドが含まれています。高度なオートフォーカス機能により、基板上の正確で正確な印刷が保証されます。内蔵の電動シャッターアセットは、均一な露出スループットと精度を提供します。ウェーハの傾きを測定および調整するための校正済みレーザー干渉計も付属しています。このモデルは、新しいレジスト材料を柔軟に受け入れることができる、幅広い正負のレジストを使用しています。さらに、VERTEQ VPA-1987は0。1秒から10分までの可変処理時間と、20°Cから150°Cまでの温度設定を提供します。フォトレジストシステムには、カラーモニターと強力な組み込みソフトウェアが装備されています。これにより、露出画像のパラメータと一度に処理できるウェーハの数を設定できます。処理実行中に結果を画面上で監視することができます。VPA-1987は、優れた位置精度と信頼性を備えた堅牢で信頼性の高いフォトレジストユニットで、ユーザーは簡単に複雑なマイクロストラクチャーを作成できます。VERTEQ VPA-1987 Photoresist Machineは、精密露出、温度制御、マルチウエハ処理などの高度な機能とともに、微細加工アプリケーションに最適なツールです。