中古 VERTEQ SuperClean 1800 #9254916 を販売中

VERTEQ SuperClean 1800は、シリコンウェーハ、MEMS、その他の敏感なデバイスなどの基板からさまざまな材料の表面残留物を迅速かつ効果的に除去するように設計された高度なフォトレジスト装置です。強力なオゾン/プラズマシステムは、様々な材料からの残留物をすばやく洗浄して処理するために、プラズマの流れを放出します。この革新的なユニットは、処理される材料のエネルギー密度と熱物理学的特性の両方を制御する、対流加熱を含むさまざまな形式で微調整されたプラズマ化学物質を提供する能力を持っています。さらに、SuperClean 1800は最適な結果を得るために調整可能な電源設定を備えています。VERTEQ SuperClean 1800は、オゾンを真空環境に放出してクリーニングを強化する特許取得済みの避難室を備えています。これにより、すべてのフォトレジスト残基およびその他の異物を迅速かつ完全に除去できます。オゾン源と避難室は、不要な粒子の存在を排除するのに役立つイオン化パスによって分離されています。これは、小型または繊細な部品を使用する場合に特に有益です。SuperClean 1800はまた、特許取得済みの冷却機を備えており、動作中に50 ̊C未満の温度を維持し、処理される敏感な部品の安全性を確保します。このツールは、直感的なソフトウェアと直感的なユーザーインターフェイスで簡単に操作できるように設計されています。必要なプロセスパラメータをアセットに入力することができ、学習サイクルモードを使用すると、プロセスパラメータを適用する前にプロセスパラメータをシミュレートできます。このモデルはまた、取り外し可能なワイヤレス親指ドライブで自動制御を可能にします。温度や湿度モニタリングなどの追加機能により、機器の安全性と精度がさらに向上します。VERTEQ SuperClean 1800は、国際的な安全基準の遵守を実証するためにCE&RohS認定されており、フォトレジスト洗浄の信頼性と費用対効果の高いソリューションです。このシステムは、基板からのフォトレジスト残留物やその他の汚染物質の除去を管理する必要がある生産レベルの製造プロセスに最適です。SuperClean 1800は、繊細な基板の安全な環境を維持しながら、迅速かつ効率的に表面の効果的な洗浄を提供します。