中古 VERTEQ SuperClean 1600 #9004028 を販売中

ID: 9004028
Spin Rinse Dryer (SRD) Single stack 150 mm.
VERTEQ SuperClean 1600フォトレジストシステムは、ウェットプロセス、高温エッチング、フォトリソグラフィークリーニングに使用されるデガスチャンバーです。デラミネーションの必要性を低減し、優れたエッチング均一性を提供するように設計されており、初心者から上級者までを念頭に置いて開発されています。SuperClean 1600には、クリーニングまたはエッチングの完全な360°パターンを提供するように設計された2つの独立したスプレーガンが装備されています。このシステムには、機械式エッチングチャンバー、すすぎステーション、ストップバルブ、UVモニタリングステーションも含まれています。VERTEQ SuperClean 1600は、クリーニングまたはエッチング処理中にチャンバー全体の温度と湿度を均一に維持するように設計された加熱エンクロージャとユニークな圧力チャンバーを備えています。エンクロージャは完全に囲まれたグローブボックスとしても機能し、ユーザーはチャンバー内で作業し、制御された雰囲気を維持することができます。圧力チャンバーはエッチングと洗浄に最適な条件を提供し、粒子の汚染物質がチャンバーに侵入するのを防ぐのにも役立ちます。安全性の面では、SuperClean 1600は、潜在的な障害イベントにユーザーに警告するように設計された低レベルのセキュリティシステムを備えているため、高い評価を得ています。また、危険な状況が発生した場合にユーザーと機器の両方を保護するために協力する複数の安全インターロックがあります。VERTEQ SuperClean 1600には、クリーニングとエッチングのプロセスを容易にするように設計された幅広いアクセサリーも装備されています。これらには、スプレーガン用の特殊フィルター、特別なリンスタンク、汚染されたリンス水による損傷のリスクを低減するように設計された特殊なクリーニングヘッドを備えたクリーニングステーションが含まれます。SuperClean 1600は、あらゆるウェットプロセス、高温エッチング、フォトリソグラフィ洗浄アプリケーションに最適です。パワフルで信頼性の高い設計、優れたエッチングの均一性、安全性を備えたVERTEQ SuperClean 1600は、今日の市場で最も信頼性が高く効率的なシステムの1つです。
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