中古 VERTEQ ST600 #9096618 を販売中

VERTEQ ST600は、マイクロエレクトロニクス業界で使用されるウェーハ上の感光性樹脂の正確なレーザービーム露光用に設計されたフォトレジスト機器です。ステッパー原理に基づいており、最大6インチのフィールドサイズと最大600 mm/sのステッパー移動速度を備えています。また、調整可能なパワーレベルとパルス長を備えた統合電源を備えており、露出プロセスを正確に制御できます。このユニットは、統合されたレーザーソースを備えたステッパー、オブジェクトテーブル、およびウェハホルダーを含む複数のコンポーネントで構成されています。ステッパーとレーザーソースは、HeNe、 CO2、 Arなどの標準レーザーソースと互換性があります。ステッパーは、ウエハ表面に0。3 μ mの最小フィーチャーサイズの超微細な画像を作成するために動作します。オブジェクトテーブルは露出時にウェーハを固定するために使用され、ウェーハホルダーはウェーハを固定するために機能します。このマシンはまた、統合されたイメージングと制御ソフトウェアを備えており、オペレータはステッパーとレーザーのソース設定をプログラム、調整、観察することができます。このソフトウェアは、ユーザーが簡単に画像を作成し、露出とレーザーポイントサイズを調整し、露出パラメータをプログラムすることができます。さらに、オペレータはプロセスパラメータを最適化してウェーハ上に希望のパターンを作成することができます。VERTEQ ST 600には、正確なイメージングを保証する統合された真空ツールもあります。露出工程中にウェーハを平らに保つように設計されており、ウェーハ上に正確で一貫したパターンを提供します。また、ウェーハはステッパー検出器の中央に自動的に配置され、動作中の位置ずれの可能性がありません。全体として、ST600はウェーハ上の感光性樹脂の露出のための高度で信頼性の高いフォトレジスト資産です。最大6インチのフィールドサイズと最大600mm/sのステッパー移動速度を提供し、高速動作と正確なレーザービーム露出に適しています。このモデルはまた、統合されたイメージングおよび制御ソフトウェア、ならびに統合された真空装置を備えており、信頼性の高い正確な露光結果を得ることができます。