中古 VERTEQ ST600-C2-E1 #293602068 を販売中

製造業者
VERTEQ
モデル
ST600-C2-E1
ID: 293602068
Megasonic cleaner.
VERTEQ ST600-C2-E1は、最先端のマイクロエレクトロニクス機器の製造に使用される高性能フォトレジスト機器です。このシステムは、パターニングプロセスを正確に制御し、優れたデバイス性能と信頼性を実現するように設計されています。ST600-C2-E1は、5つの主要コンポーネントからなる最先端のフォトレジストユニットです。最初の成分は紫外線(UV)レーザーで、UV-A、 UV-B、またはUV-C範囲でも短波長の放射が可能です。フォトレジスト層を半導体ウェーハなどの基板にパターン化するために使用されます。レーザーはデジタル信号プロセッサによって制御され、正確さを正確に示す複雑なパターンを生成することができます。機械の2番目のコンポーネントは人間工学に基づいたワークステーションで、熟練したオペレーターが安全で効率的に作業できるように設計されています。このワークステーションは、レーザーの下でウェーハを回転させて傾けることができ、さまざまな表面にフォトレジストを正確に書き込むことができます。また、露出する表面領域を検出し、フォトレジストの均一なカバレッジを確保するためにオペレータにフィードバックを提供するセンサーを備えています。3番目のコンポーネントは、ツールのパフォーマンスを監視し、適切なパターンを確保するために出力を調整するデジタルコントローラです。この資産には、安定したプロセスを確保するために、レーザービーム診断やウェーハ温度センサーなど、いくつかのセンサーがあります。モデルの4番目のコンポーネントは、高度な光学系を使用してウェーハの表面にマスクを整列させ、正確なフォトレジストカバレッジを提供する強力なポスト露出ユニットです。このユニットには、ビームアライメントと露出中に発生する可能性のあるエラーを修正するためのいくつかの組み込みアルゴリズムもあります。最後に、機器の5番目のコンポーネントは、ウェーハ輸送用のコンベアベルトです。このベルトには、ワークステーションからポスト露出ユニットへのウェーハの安全かつ効率的な転送を確保するためのセンサーが装備されており、パターニングプロセス全体を完了します。全体として、VERTEQ ST600-C2-E1システムは非常に信頼性が高く、効率的で正確なフォトレジストユニットです。それは高性能および安全の多数の層による最先端のマイクロエレクトロニクス装置の製造で使用することができます。
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