中古 VERTEQ ST600-42T #9126464 を販売中

VERTEQ ST600-42Tは、高精度パターニングニーズに適した特殊フォトレジスト装置です。このシステムは、完全に統合されたスキャントンネリング顕微鏡（STM）を備えた蒸着室の周りに構築されています。STMプローブは、硬化プロセス、自動アライメントプロセス、およびその他の重要な操作中にフォトレジスト材料を注入および監視するために使用できます。これにより、最大1ナノメートルの精度でレジストの厚さとプロファイルが維持されます。高度なモーションコントロールシステムと十分に設計されたソフトウェアにより、ユーザーは曲面でも正確なパターンを生成できます。ユニットはまた、パターニングの複数の層をサポートし、スペース、高さ、幅、方向、およびサイズを制御します。これにより、特定のアプリケーションの仕様を満たすために基板にパターンを適用できるようになります。ST600-42Tはガス冷却されたキセノンランプが装備されています。この機能により、ユーザーはプロセスパラメータに合わせて出力と露光期間を調整できます。さらに、内蔵の光学アライメントマシンを使用すると、パターンを正確に整列および制御して精度を高めることができます。このツールには、高速基板ローダーも含まれています。基板間を素早く切り替えることができ、ダウンタイムや摩耗を軽減できます。このアセットはクリーンルーム環境向けに特別に設計されており、ガスマスクや消火モデルなど一連の安全機能を備えています。VERTEQ ST600-42Tは、優れた性能と高い歩留まりを提供することができます。フォトリソグラフィの長年の経験を持つVERTEQエンジニアは、最も要求の厳しいパターニング要件を満たすことができる装置を設計しました。このシステムは、高精度のレジスト層のパターンを必要とするあらゆるビジネスに強く推奨されています。