中古 VERTEQ ST600-41L #293597566 を販売中

VERTEQ ST600-41Lフォトレジスト装置は、フォトレジストマスク材料を処理し、信頼性の高い結果を提供するように設計された高度なシステムです。このユニットは、高度なリソグラフィ、計測、およびトラックツールで構成されており、欠陥を減らし、歩留まりを改善するために設計された真空フォトアライナーを備えています。ST600-41L Photoresist Machineは、次の機能を備えた高度なツールです。マルチレイヤフォトレジスト処理：VERTEQ ST600-41Lアセットは、最大4つのフォトレジスト層を同時に処理できます。これは、複雑な構造や特徴を簡単に生成できることを意味します。さらに、このモデルは厚膜と薄膜の両方を処理することができ、追加の薄膜プロセスの必要性を減らすことができます。サブミクロン解像度：この装置は、業界をリードする0。2ミクロンの解像度を誇り、フォトレジスト処理中に最高レベルの精度を保証します。このシステムでは、幅と高さが0。2ミクロンの多層構造を簡単に処理できます。Automated True Focus Metrology Unit： ST600-41Lには自動化されたTrue-Focus Metrology Machineが含まれており、ユーザーは広範囲にわたるパターンの光学焦点を正確に測定することができます。これにより、線幅と均一性が向上します。面内ステージコントロール：高精度の面内ステージコントロールにより、広範囲にわたって一貫したパターン繰り返し精度（CDの均一性）が保証されます。これにより、手動レタッチの必要性が低減されます。統合されたオゾンおよび紫外線露出ツール：統合されたオゾンおよび紫外線露出アセットはフォトレジスト層を露出するとき最適な一貫性を保障します。高精度GY軸：高精度GY軸は正確な位置決めを提供し、ウェーハレベルの機能を簡単に処理できます。この軸は、オートシム要件を使用して正確に揃えることができます。ロボットローダー：ロボットローダーは、ユーザーが迅速かつ正確にウェーハをロードし、モデルの出し入れをアンロードすることができます。これにより、転送エラーを低減し、全体の処理時間を最小限に抑えます。プロセストラッキングソフトウェア：プロセストラッキングソフトウェアを使用すると、ユーザーはウェーハの処理の進捗状況を一貫して追跡できます。これにより、最終製品が顧客の要件を満たすことが保証されます。VERTEQ ST600-41L Photoresist Equipmentは、歩留まりを改善したフォトレジストマスクの信頼性の高い生産を可能にする強力な機能を備えた高度なシステムです。多層処理機能、サブミクロン分解能、自動フォーカスメトロロジーユニットにより、複雑なパターンや機能を高精度に生成できます。さらに、統合されたオゾンとUV露出機、高精度のGY軸、ロボットローダー、およびプロセストラッキングソフトウェアは、プロセス時間とエラーを削減するのに役立ちます。