中古 VERTEQ SC300 #9286044 を販売中

製造業者
VERTEQ
モデル
SC300
ID: 9286044
ウェーハサイズ: 12"
Spin Rinse Dryer (SRD), 12".
VERTEQ SC300フォトレジスト装置は、半導体製造業界で使用される最先端の機器です。このシステムは、高周波レーザプロセッサ、ウェット開発者、基板洗浄ステーションで構成されています。半導体ウェーハに非常に小さく複雑な特徴を正確にパターン化することができます。VERTEQ SC-300のレーザープロセッサは、Ytterbiumファイバーレーザーを2倍にしたソリッドステート周波数です。このレーザーは、単一の周波数動作を使用して5ナノ秒のパルス幅を生成することができます。515ナノメンターの波長で最大300Wの電力を出力し、ウェーハに非常に細かく詳細なパターンを提供することができます。ユニット内のウェット開発者は、開発時間と温度の制御を可能にする完全に自動化されたプロセスです。これは、フォトレジストの開発を最適化し、処理ステップ間の迅速な納期を提供するように設計されています。マシン内の基板洗浄ステーションは、ウェーハ上に残っている可能性のある小さな粒子、破片、およびその他の汚染物質の除去を確実にするための高度なプロセスを使用しています。SC300フォトレジストツールは、マイクロエレクトロニクス業界の微細な機能を超微細にパターン化して製造するための優れたツールであり、サイクル時間の短縮による大幅なコスト削減を実現します。高精度のレーザープロセッサ、自動ウェット開発者、基板洗浄ステーションにより、SC-300フォトレジストアセットを使用して、わずかな時間で高品質のデザインを作成できます。
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