中古 VERTEQ SC1600-3 #9086483 を販売中

VERTEQ SC1600-3
製造業者
VERTEQ
モデル
SC1600-3
ID: 9086483
ウェーハサイズ: 2"
Spin Rinse Dryer, 2".
VERTEQ SC1600-3は、高品質のリソグラフィ性能を提供するために設計されたフォトレジスト機器です。このシステムには、精密ステッピングプラットフォーム、統合された自動購入前検査、およびユーザーの製造ニーズを満たすためのさまざまなコート/露出/開発オプションが含まれています。SC1600-3ユニットは、リソグラフィ技術とフォトレジスト技術の最新技術を活用して、マイクロチップ製造プロセスの高精度と均一性を実現しています。統合された購入前検査には、パターン化されたフォトレジスト層の均一性を確認するための正確に整列された光学系が含まれています。VERTEQ SC1600-3は、高度なアルゴリズムを備えた柔軟に設計されたステッピングプラットフォームを備えており、均一性と重要な寸法制御を強化しています。このマシンのソフトウェアは、露出設定をカスタマイズしてプロセスを最適化し、マイクロチップ製造プロセスの特定の要件とツールのパフォーマンスのバランスをとることができるように設計されています。SC1600-3には、ユーザーが選択できる複数のコート/露出/開発オプションが含まれています。自動化されたコーティング資産は、完全なカスタマイズを可能にし、ウェーハ全体のレジスト厚さの均一性を保証します。統合されたリソグラフィーモデルには、低輝度と高輝度の両方で動作する高分解能光学系が含まれており、ポリマー、シリコーン、その他の種類のレジストを含む幅広い材料を処理する能力を提供します。統合された開発ステーションは、効率的な処理時間を可能にし、優れたマスキング性能を提供します。統合されたプロセストラッカーにより、ユーザーはプロセスのパラメータを迅速かつ簡単に監視および調整できます。VERTEQ SC1600-3は、高い品質を確実に実行し、維持するように設計されています。この装置は、非常に複雑な設計を含む、事実上あらゆる製造アプリケーションに適しており、フォトレジスト層が正確に形成され、チップが指定されたように生成されることを保証します。
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