中古 VERTEQ SC1600-3 #293592052 を販売中

VERTEQ SC1600-3は、光学部品の製造および薄膜蒸着に一般的に使用されるフォトレジスト機器です。多種多様な基板に正確かつ精密なパターンを適用するために、高出力で均一な最先端の光学投影システムを備えています。フォトレジストユニットにSC1600-3、高解像度のスキャニングトラバースヘッドと精密オプティクス、および複雑なベクトルとラスター設計を処理できるソフトウェアパッケージが含まれています。このマシンは、フォトレジスト層の均一なシフトを確保するために、3ステップパルサーツールで1800ワットの電力を提供します。アセットの最上層は、最大8つのリニアスキャン軸を備えたプレートで、個別に制御することができます。ウェーハ移動モデル（WMS）は、大きなウェーハでも正確な基板位置決めを保証します。シャッター機構と冷却装置を一体化しており、過熱を防ぎます。VERTEQ SC1600-3は高精度のステージフィードを備えており、最大450 um/sのスループットと30 umの再現可能な精度で複数の基板に使用できます。また、高速焦点最適化機能も備えており、ユーザーは露光の間で最適な焦点を合わせるために投影光学系を素早く調整できます。調節可能なフォトマスクホルダーと電動光源のおかげで、ユーザーはさまざまなフォトマスクを迅速かつ簡単に切り替えることができます。さらに、このシステムは、包括的なデジタルプロセス制御機能、およびオートフォーカス、登録、アライメント、スキャンなどのツール固有の機能を介して手動または自動で操作できます。また、SC1600-3は幅広いプロセス制御機能を備えており、ユーザーは基板タイプと材料ごとにプロセスをカスタマイズすることができます。これらには、レチクルローディング、フォトレジストアプリケーション、露出制御、アライメントおよび登録制御、エッチングおよび開発が含まれます。また、ポリイミド、石英、酸化インジウム（ITO）など、さまざまな基板タイプのレジスト材料や厚さにも対応しています。VERTEQ SC1600-3は、最終製品の最高品質を保証するために、均一なマッピング、重要な寸法解析、伝送などのさまざまな診断および監視機能も備えています。そのソフトウェアインターフェイスは、ユーザーがカスタマイズされたレシピをプログラミングし、リアルタイムでレポートを生成することができます。SC1600-3は、高精度、高密度フォトレジスト加工に最適なツールです。その堅牢な設計、汎用性の高いデジタルプロセス制御機能、高速処理速度により、光学部品の製造および薄膜蒸着に最適です。