中古 VERTEQ MCS-2600-3A-UCX #9196057 を販売中

VERTEQ MCS-2600-3A-UCX
ID: 9196057
Megasonic cleaner.
VERTEQ MCS-2600-3A-UCXフォトレジスト装置は、高度なフォトリソグラフィ用途向けに設計された最先端の生産ツールです。特許取得済みの音響結合型ヒートシンク技術を利用して、フォトレジストの表面に均等に熱を分配します。フォトレジスト層全体に均一な温度フィールドを維持することで、精度と精度を向上させた高精度なリソグラフィパターンを生成することができます。MCS-2600-3A-UCXはデュアルコンパートメントユニットを備えており、1つのチャンバーには音響ヒートシンクが収納され、もう1つはDMAC (Di-methyal-cyanide)ベースのフォトレジストで満たされています。2つのコンポーネントは、ヒートシンクによって生成された熱をフォトレジストに送信する音響トランスデューサによって結合されています。両チャンバは個別に温度制御され、拡張走行時に一貫したレジスト温度を確保します。VERTEQ MCS-2600-3A-UCXは、重要寸法が0。4ミクロンと小さく、明確に定義されたリソグラフィーエッチングパターンを生成することができます。このマシンには、自動ロード/アンロード機能を備えた完全自動露出チャンバや、包括的なユーザー監視/制御機能など、多くのプロセス自動化機能が組み込まれています。半導体製造、LEDのパターン生成、光学部品、液晶ディスプレイ製造など、幅広い用途に適しています。優れた性能と信頼性を提供することに加えて、MCS-2600-3A-UCXは高度なフォトリソグラフィーアプリケーションのための費用対効果の高いソリューションであるように設計されています。このツールは、コンポーネントの堅牢な設計により、最大の資産稼働時間と低メンテナンスコストを提供します。また、高解像度イメージングにより高速でリソグラフィーテンプレートを生成することも可能です。VERTEQ MCS-2600-3A-UCXは、最も複雑なフォトリソグラフィープロセスに最適な性能、再現性、信頼性を提供するように設計された先進的なフォトレジスト機器です。特許取得済みの音響結合型ヒートシンク技術を使用して、均一な抵抗温度を維持し、重要寸法が0。4ミクロンと小さい明確なリソグラフィーエッチングパターンを生成することができます。このシステムは、堅牢なパフォーマンスと費用対効果を提供し、高度なフォトリソグラフィーアプリケーションに最適なソリューションです。
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