中古 VERTEQ Flurocarbon RD4500 Classic #9158713 を販売中

VERTEQ Flurocarbon RD4500 Classicは、高度なリソグラフィ用途向けに設計された業界をリードするフォトレジスト機器です。このシステムは、セットアップ時間と労力を最小限に抑えて、高精度で再現性の高い結果を生み出すことができます。堅牢な設計と使いやすいコントロールユニットにより、信頼性の高い動作と低メンテナンス動作を保証します。8。2インチの窒化ホウ素エッチングチャンバーを搭載し、光によるエッチング、金属エッチング、各種材料のディープエッチングなど幅広い用途に対応します。このエッチングチャンバーは、15ミリバーのベースプレッシャーを備えたターボポンプを備えており、再現性のある高品質なエッチングを実現しています。このチャンバーには、デジタルガスボックスコントローラと、空気、酸素、窒素、ヘリウム、水素などのさまざまな機能、および完全な包括的な安全ツールが装備されています。このアセットは、正と負のフォトレジストなど、幅広いフォトレジストタイプに対応するように設計されています。中分解像度のフォトレジストや、より細かい露出のための高解像度フォトレジストなどがあります。また、イメージングステージにレンズを追加することで、より高解像度の作業が可能です。この機器には、フルスイートのイメージング機能も備わっています。高解像度デジタルカメラを搭載し、非常に詳細な画像を撮影することができます。さらに、透過的または反射的なイメージングを実行し、UV、 LED、ブロードバンドなどのさまざまな照明源を提供することができます。このシステムは、多くの主要なコンピュータ支援設計（CAD）およびリソグラフィーソフトウェアパッケージと互換性があり、ツールパスの自動生成と効率的な部品処理を提供します。最大の生産性を確保するために、ユニットには自動洗浄、ローディング、およびアンロード機が内蔵されています。このツールは、チャンバーをきれいにし、露出間の抵抗を交換するために必要な時間と労力を削減するように設計されています。また、露出時間の精度を測定するセルフモニタリング機能も備えています。全体的に、Flurocarbon RD4500 Classicは、信頼性の高い正確なフォトレジストモデルを求める人に最適です。包括的な機能を備えたこの装置は、さまざまなリソグラフィ用途に適しています。