中古 VERTEQ Etch Processor #142255 を販売中

VERTEQ Etch Processorは、金属や硬質プラスチックなどの硬質基板の精密エッチングおよび彫刻に使用されるフォトレジスト装置です。このシステムの堅牢で効率的な設計により、90°Cまでの温度で、強度がT6までの適切な材料で動作することができます。また、非常に薄い基板や低k誘電体に均一なエッチングを提供する独自の層形成技術も含まれています。エッチプロセッサは、電解放電ユニット、光路ユニット、陽極エッチングユニットの3つの主要コンポーネントで構成されています。電解放電ユニットを使用して、基板を取り囲む浴室に電流を発生させます。この電流はフォトレジスト材料を活性化するために使用され、露出した部分は導電性になり、露出していない部分は絶縁特性を保持します。光パスユニットは、照明源を基板から分離し、制御パターンでレジスト材料に光を集中させる役割を担っています。これにより、ターゲット材料の正確な光パターニングとエッチングパターニングが可能になります。最後に、陽極エッチング装置は、応用電流レベルが材料の酸化反応を引き起こすため、基板材料の実際のエッチングを担当します。VERTEQ Etch Processorには、エッチングパラメータが指定された範囲内に保たれるようにするための温度制御、圧力制御、湿度制御ユニットも含まれています。また、エッチング工程を継続的に監視し、それに応じて陽極電流レベルを調整するクローズドループフィードバックマシンを内蔵しています。短絡保護やブレークイン回路監視アセットなどのツール安全機能も装備されています。ツールとメカニズムのトータルパッケージにより、Etch Processorはエレクトロニクス包装、染料センシング、強電アプリケーションに理想的なツールとなります。この信頼性と効率の高いマイクロエッチングモデルは、優れた機能と業界をリードする精度で、複雑で複雑な形状をさまざまな硬質基板にエッチングするために使用できます。