中古 VERTEQ DT 560M #124425 を販売中

VERTEQ DT 560Mは、高度なフォトリソグラフィープロセスのための精密デジタル伝送フォトレジスト装置です。これは、非常にタイトな機能と密度を達成するために、高解像度のフォトレイアウトを可能にするように設計されています。このシステムは、独自に設計された光学パッケージを備えており、ワイヤレスでコンピュータ制御されたツールであり、精度と再現性を向上させます。DT 560Mは、最大10ミクロンの解像度で広い視野を備えているため、幅広い精密フォトリソグラフィープロセスに適しています。このイメージングユニットは、長いダイナミックレンジを備えており、高い量子効率と広い露光緯度を提供します。レーザーのダイオードは統合のウエハのための調節可能な拡散のハロゲン光源との非常に精密な照明制御を、提供します。VERTEQ DT 560Mには特許取得済みの光線量制御ユニットが装備されており、各プロセスの露光時間とレーザー強度を正確かつ正確に調整できます。このマシンはまた、自動光露光制御のためのインターフェイスを提供しています。これにより、マシンオペレータは、望ましい出力の露出プロセスのパラメータを正確に設定できます。DT 560Mツールは、ユーザーフレンドリーで直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを備えた精密なアライメント機能も提供します。このアセットは正確な5軸モーションエンコーディングを提供し、特許取得済みのオートアラインメソッドは正確なクロスウェーハアライメントを提供するように設計されています。これにより、ウエハサイズに関係なくパターンが正しく整列されるようになります。最後に、このモデルには、フォトレジストパターニングプロセスの最適化を可能にする自動ウェーハ処理ソフトウェアが含まれています。これにより、VERTEQ DT 560M、高分解能フォトマスクを作成するための高効率で信頼性の高いフォトリソグラフィ装置となります。このソフトウェアは、操作中に問題が発生した場合に簡単にトラブルシューティングできるように設計されています。