中古 VERTEQ 1800 #9410983 を販売中

製造業者
VERTEQ
モデル
1800
ID: 9410983
ウェーハサイズ: 6"
Spin Rinse Dryer (SRD), 6".
VERTEQ 1800は、PCB製造、MEMS、高度なパッケージングなどの複雑なマイクロエレクトロニクス製造プロセス用に設計された最先端のフォトレジスト機器です。先進的なシステムは、優れたフォトレジスト分解能と高い露光精度を提供し、幅広い用途に適しています。1800は18 J/cm²/secの露出を可能にするハイエンド水銀露出源を利用しており、最小幅0。1〜0。2 μ mの生産グレードの特徴をプラス/マイナス5%の精度で実現しています。ユニットのマスクベースの露出技術は、パターンのさまざまな部分に異なる露出量を適用する機能をユーザーに提供します。これにより、MEMSなどの分野で非常に高解像度の製造が可能になります。VERTEQ 1800は、高度で高感度の光学マシンで設計されています。また、100msのフラッシュランプとダイレクトイメージング技術を使用して、レジストパターンから散乱した光を検出します。ツール全体には、マイクロエレクトロニックレジスト材料の再現性と包括的な管理を可能にする高度なレジストハンドリングステーションが含まれています。1800は、ユーザーが最適なスループットと低い操作性コストを享受できる完全に統合された資産です。全自動レジストローディングおよびアンロード機構と最適化されたプロセスフローを使用して、フォトレジストコーティング、露出、開発などのプロセスを迅速に実行できます。全体的に、VERTEQ 1800は、高容量、信頼性、効率的なフォトレジストモデルであり、ユーザーに高精度で生産グレードの機能の利点を提供します。その高度な機能により、さまざまなマイクロエレクトロニクス製造ニーズに対応し、フォトレジスト製造のための費用対効果の高いソリューションをユーザーに提供します。
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