中古 VERTEQ 1800 #9144794 を販売中

VERTEQ 1800は、高精度リソグラフィのための高度なフォトレジスト機器です。VERTEQによって開発された1800は、半導体やマイクロエレクトロニクスの製造やLED製造などの光学アプリケーションで使用される産業用グレードのツールです。VERTEQ 1800は、直径9。5インチまでのウェーハサイズを扱うことができる10インチx 20インチの大型プレートを備えています。複数のウエハを一度に処理するのに最適で、欠陥率の低い複雑な構造物やデバイスの効率的な生産が可能です。また、ローダーから露出チャンバーにウェーハを安全に搬送する自動ウェーハハンドリングユニットを実装しています。統合された電動X-Yステージを使用して、フォトレジストは整理され、反復可能な方法で分配されます。精密リソグラフィの場合、1800は6軸リソグラフィーヘッドを備えており、優れた一貫性で4µmまでの解像度を容易にすることができます。これは、アライメント精度を確保するために、精密ギア駆動の機械的ステージと連携して動作する可変マスクプロファイルマシン（VMPS）を使用することによって実現されます。このツールはマニュアルモードでも使用でき、ユーザーはカスタムパターンをすばやく簡単に作成できます。VERTEQ 1800は、高度な独自ソフトウェアを搭載しており、ユーザーは簡単にリソグラフィ資産を制御し、露光時間、解像度、コントラストなどの変数を最適化することができます。より大きな制御のために、モデルは他の生産ツールとインタフェースすることができ、自律的な操作を可能にします。標準的な機能範囲を超えて、1800はまた、他のフォトレジストシステムから離れてそれを設定するいくつかのエクストラを持っています。例えば、この装置は専用の基板加熱機能を備えており、高度な処理に最適な温度を保証します。また、このシステムには、数ナノメートルまでの機能サイズの非破壊画像の3Dイメージング機能が統合されています。最後に、このユニットにはさまざまな洗練された安全機能が搭載されており、安全で生産的な環境を確保します。VERTEQ 1800は、複雑なマイクロエレクトロニクスおよび光学部品の製造を合理化するように設計された強力で信頼性の高いフォトレジストマシンです。プレートサイズが大きく、洗練された統合機能を備えた1800は、ハイエンドの生産環境に最適なツールです。