中古 VERTEQ 1800 #293816933 を販売中

製造業者
VERTEQ
モデル
1800
ID: 293816933
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2000
Spin Rinse Dryer (SRD), 8" 2000 vintage.
VERTEQ 1800は、マイクロエレクトロニクス製造の多様なニーズを満たすように設計された次世代フォトレジスト機器です。このシステムは、複雑な3D構造を微細な解像度でパターン化するための迅速かつ正確な方法を提供します。このユニットは、1。2 µmの縦解像度と5nmの横解像度のパターンを作成することができます。1800マシンには、さまざまなコンポーネントが含まれています。このツールは、2つのエキシマレーザー源を使用して紫外線を生成し、レジスト表面に向けられます。この光はレジストを分解し、パターンを形成することができます。このアセットには、レーザーとレジストの間で部品を移動するコンベアベルトモデルも含まれています。この装置は、ポリイミド、SiO2、およびBCBを含む幅広い材料を処理することができます。また、ガラス、石英、シリコンなど、さまざまな基板を加工することができます。さらに、VERTEQ 1800は、スピン材、反射防止層、ハードマスクなど、幅広い保護コーティングを使用することができます。このシステムには、高度にカスタマイズ可能なソフトウェアスイートが付属しており、パターンの設計と作成プロセスを大幅に簡素化します。さらに、このソフトウェアを使用すると、リアルタイムのフィードバックと補正機能を使用してパターンを作成および改良できます。1800の柔軟性と速度により、複雑な設計の迅速なプロトタイピングに最適です。全体として、VERTEQ 1800はパワフルで信頼性の高いフォトレジストユニットであり、現代のフォトリソグラフィにおける汎用性と精度を提供します。サブミクロン分解能レベルでパターンを素早く正確に生成できるため、さまざまな業界のファブリケーターにとって貴重なツールとなります。
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