中古 VERTEQ 1800 #293815958 を販売中

VERTEQ 1800フォトレジスト装置は、光学イメージングによって高解像度のパターンを取得するために設計された高度なリソグラフィ機器およびフォトレジスト処理システムです。単位は高度の光学顕微鏡、プログラム可能な段階および超高真空（UHV）の処理部屋に基づいています。半導体およびオプトエレクトロニクス部品の迅速かつ大面積の製造に重点を置いて設計されています。このマシンは、XYステージ（100mm x 100mm）と電動Zステージを備えたスキャン式プロジェクションレンズをベースにしています。532nmおよび638nmの波長レーザー源を備えており、収束または発散ビーム密度および角度ビームサイズを生成することができ、より高い解像度のパターニングを可能にします。このツールには、最適な照明照明レベルを達成するためのビーム調整レンズと強度調整ダイヤルも含まれています。1800フォトレジスト資産は、PMMA、 AZ9260A、 SU-8、 SiH6-8などのレジスト材料を含む幅広い材料と互換性があります。このモデルは、トランジスタやコンデンサなどの金属デバイスの製造にも使用できます。VERTEQ 1800フォトレジスト装置には、高度なスキャナと統合されたプロセスチャンバーが装備されています。このスキャナを使用すると、リソグラフィープロセス中に標本またはサンプルを正確に移動できます。このチャンバーは、フォトレジスト加工の正確で安全で信頼性の高い動作を保証します。また、シャッターユニットを装備しており、試料への直接ダメージを防止します。機械は完全に自動化されており、複数の同時処理が可能です。このツールは、精密なダイシング、成膜、エッチング、アニーリング用に設計されています。1800フォトレジストアセットには、プロセスを最適化および制御するための広範なソフトウェアが含まれています。さらに、各製造プロセスに最適な結果を得るために、さまざまな分析および後処理ツールを利用できます。VERTEQ 1800フォトレジストモデルは、高精度のリソグラフィとフォトレジスト処理のためのモダンで汎用性の高いツールです。幅広い機能とソフトウェアにより、正確で効率的なサンプル作成を可能にします。その結果、多くのリソグラフィおよびフォトレジスト加工アプリケーションにとって、信頼性と手頃な価格のソリューションとして認識されています。