中古 VERTEQ 1800 #293814784 を販売中

VERTEQ 1800は、VERTEQ Robotics and Automationが微細加工プロセスで使用するために開発したフォトレジスト機器です。フォトリソグラフィを用いてウェーハ上のレジスト領域を選択的に露出させる先進的な電気光学系です。Very Large Scale Integration （VLSI）やMEMSアプリケーションなどの半導体、医療、オプトエレクトロニクスデバイスなどのマイクロ基板やナノスケール基板上の小さな機能のパターン化に使用できます。このマシンは、ウェーハを保持するメインプラットフォーム、光点サイズの精密な操作を可能にするレンズツール、電動ステージドライブ資産、高出力レーザー、モニターとカメラ、およびコンピュータプロセッサで構成されています。レーザーは、ウェーハ表面にレジストをパターン化するために使用されます。レーザービームは一連のレンズを通して焦点を合わせ、基板上に正確なスポットサイズを作成します。ステージドライブモデルは、レーザービームの配達のための正確な場所にウェーハを配置するために使用されます。高度なカメラ装置により、リアルタイムで正確なレーザーアライメントが可能です。フォトレジストによるパターン作成のプロセスは、基板にフォトレジストを適用することから始まります。レジストは光にさらされ、レジスト分子と化学反応を起こします。これにより、基板上の望ましいパターンの正または負のイメージが得られます。このシステムは、CADファイルまたは手動入力からの情報でプログラミングでき、レーザーをフォトレジストに正確に配置できます。レーザーを配置すると、電源が供給され、レジストが露出してパターン化された基板になります。1800単位はレーザーの安全おりおよび人員の安全を保障するために必須の安全連結のような高度の安全機能と設計されています。このマシンは、画像キャプチャツール、マルチスポット露出、ユーザー定義の設定のライブラリなど、フォトリソグラフィープロセス中の柔軟性を可能にするさまざまな機能を備えています。資産は所有コストが低く、さまざまなアプリケーションで使用できる経済的なプロセスをユーザーに提供します。VERTEQ 1800フォトレジストモデルは、高度な技術と費用対効果のユニークな組み合わせで、ユーザーに信頼性と効率的な微細加工プロセスを提供します。小規模プロジェクトに精度と柔軟性を提供し、大量のアプリケーションに信頼性の高いパターン基板を提供します。1800台の機器を使用することで、高い精度、品質、一貫性を備えたデバイスを微細なレベルで生産することができます。