中古 VERTEQ 1800 #293760299 を販売中

VERTEQ 1800は、他の光学投影システムと比較して最大25％の歩留まりスループット向上を実現するフォトレジスト機器です。シングルパターニングやダブルパターニングなど、幅広い微細リソグラフィープロセスに適した汎用性の高い単露光ツールです。このシステムは、高解像度と安定性を備えた5x-80xの広い倍率範囲を提供します。1800シリーズのフォトレジストシステムは、高出力で高解像度のバイナリ投影光学を備えており、非常に効率的な0。165ミクロンのフィーチャサイズ機能を提供します。この露出は、最大9つのレーザダイオード光源によって可能になり、最大16メガワットのUVパワーを提供してスループットを向上させます。フォトレジストユニットは、BCD、ダイツダイ、ウェーハ間アライメント技術も可能です。VERTEQ 1800の自動化モジュールには、高度なアライメント機能とパターンベースの最適化が搭載されており、プロセスの再現性と精度が向上します。マルチユーザインタフェース（MUI）を自動化し、複数の操作やスループットの向上に使用できます。また、ソフトウェアは、正確なアナログ曲線分布のための逆調波露光（RTE）をサポートしています。1800はまた、オンウェーハ電圧トリミングを備えており、ダウンタイムを最小限に抑えてウェーハ全体の過剰電圧を迅速に調整します。さらに、このツールは複数のインテリジェントセンサスロットで設計されており、温度、電力、用量、ウェハ間のアライメントを監視します。この監視により、より高速な液滴沈着と最小限の汚染でウェーハの平面化が保証されます。アセットには、マイクロモジュールがパターンを検出し、エリアの大部分が歪んでいても正確な位置に整列できる正確な幾何学的オーバーレイ機能も装備されています。さらに、フォトレジストモデルに内蔵されたMEMSスキャナ技術により、ループ遅延時間がなく、最大400ミリメートル/秒の広いスキャン速度により、均一なフィーチャーカバレッジが保証されます。全体として、VERTEQ 1800フォトレジスト装置は、従来のシステムと比較して、最適化された安定性、歩留まりスループットの改善、自動化されたMUI、高解像度などの機能を提供します。これにより、フォトレジストシステムは、微細なラインリソグラフィ用途の製造に理想的な選択肢となります。