中古 VERTEQ 1800-6AR #9328733 を販売中

VERTEQ 1800-6ARは、マイクロエレクトロニクス製造用に設計された最先端のフォトレジスト機器です。これは、機械モジュール、露出モジュール、および移動テーブルからなるアライメントテーブルに基づくモジュラー、高解像度、ワンステップのフォトレジストシステムです。ユニットには、アライメントテーブル、ステッパー/スキャナーモジュール、ステッパー/マスクアライメントモジュールが含まれています。アライメントテーブルは、2軸（X、 Y）調整可能な線形ステージを備え、精度は1。4 µmです。ステッパー/スキャナーモジュールは、電動フルアパーチャーテレセントリックイルミネータ、自動調整フォーカスマシン、および電動ウェハステージで構成されています。ステッパー/マスクアライメントモジュールにより、マスクをウェハに正確にオーバーレイできます。このツールは、アライメントチェックからピクセルサイズ、露光時間まで、露光プロセスのすべての側面を制御できる高度なマイクロプロセッサ制御ユニットによって駆動されます。アセットには、赤外線前露、後露光、開発プロセス用のフルパワーコントロールモデルを備えた埋め込み型ダークルームがあります。この装置には、UVまたはIラインワークチャンバーの清浄度を測定するための統合されたパーティクルカウンターと、パーティクル/クリーニング活動モニタリングもあります。1800-6ARは、最大12 µmの解像度を提供し、2。0ミクロンのサイズを備えています。このシステムは、チューニング帯域幅（FW/BW）チューニングをすべての非クリティカル機能で20％未満、および短い機能で高解像度で提供します。このユニットはユーザーフレンドリーで、自動または半自動フォーマットで操作でき、正確さを損なうことなく効率的なワークフローを可能にします。VERTEQ 1800-6ARは、マイクロエレクトロニクス製造アプリケーションで優れた実績を持つ信頼性の高い高性能フォトレジストマシンです。そのダイナミックレンジ、高解像度、使いやすいインターフェイスと統合されたパーティクルカウンターは、あらゆるマイクロエレクトロニクス実験室や生産環境に最適です。