中古 VERTEQ 1800-6AR #9316070 を販売中

VERTEQ 1800-6ARフォトレジスト装置は、集積回路やその他の電子デバイスの製造に使用されるフォトレジスト層の自動インライン化学開発とエッチングのための高度な化学処理システムです。このユニットは複数のモジュールで構成されており、幅広い化学およびプロセスをサポートすることができます。モジュールには、開発者モジュール、エッチバックモジュール、クリーンルームモジュール、めっきモジュール、廃棄物管理モジュールが含まれます。各モジュールは個別に動作しており、完全に自動化されたマシンを作成するために一緒に接続することができます。開発者モジュールは、ウェーハの露出した領域からフォトレジストを除去するためにケミカルバスを使用しています。化学開発プロセスは完全に密閉されたチャンバーで行われ、必要なすべての安全と処理条件が維持されます。プロセスの間に、開発者の解決は部屋中に循環され、フォトレジストはそれが溶液に分解し、溶液に溶解するためにそれを引き起こす化学浴室にさらされ、ウェーハの領域をむき出しにし、追加の処理の準備ができています。エッチバックモジュールは、余分なフォトレジストを除去するために使用され、ウェーハの全体的な厚さを低減します。このプロセスは通常、密閉されたチャンバーで行われ、ウェーハ表面からフォトレジストをエッチングするために化学溶液が使用されます。このプロセスは、必要なレジスト厚さを達成するために、ウェーハから除去された材料の量を高精度かつ正確に制御することができます。クリーンルームモジュールは、フォトレジストプロセスがクリーンで制御された環境で行われることを保証します。空気の質は密接に監視され、空気中の粒子を除去し、最適な作業環境を維持するためにろ過されます。メッキモジュールは、ウェハのフォトレジスト露出面に金属堆積物を電気めっきするために使用されます。このプロセスでは、金属化合物は液体溶液中で吊り下げられ、電気的に充電されるため、金属の薄い層がウェーハに堆積することができます。最後に、廃棄物管理モジュールは、フォトレジストプロセス中に作成されたすべての有害廃棄物が安全に処分されることを保証します。これには、承認された廃棄物処理場への収集、保管、輸送が含まれます。要するに、1800-6ARフォトレジストツールは、集積回路やその他の電子デバイスの製造を可能にする化学処理資産です。このモデルは、開発者、エッチバック、クリーンルーム、めっき、廃棄物管理モジュールの5つのオペレーションモジュールで構成されています。装置は高精度で、清潔で管理された環境を確保し、すべての有害廃棄物を安全に処分します。