中古 VERTEQ 1800-6AR #9228771 を販売中

VERTEQ 1800-6ARは、微細加工用に特別に設計されたフォトレジスト機器です。これは、最も正確なフォトレジストパターンを作るためにマルチカラム構成を使用して真空可能なマシンです。このシステムは、III-V材料のような高感度基板を使用する場合、パターン精度と精度が向上するため、特に有利です。このユニットの中心には、XYZのすべての6方向に基板を移動させることができ、その回転ステージがあります。6軸ロボットアームと組み合わされたこの動きは、薄膜レジスト層を配置するための最高精度を提供します。ロボットアームは、フォトリソグラフィ工程で使用されるUV光を生成する光子エネルギー源パネルのキャリアとしても機能します。1800-6ARマシンでは、ロボットアームと回転ステージの両方が2つの高性能サーボモータによって駆動され、幅広い動作と高い反復性を可能にします。さらに、このツールには、作業環境と基板を一定で一貫した熱レベルに保つプログラム可能な温度制御ツールが装備されており、最も正確なパターンを達成することができます。完璧で正確なパターンを作るために、アセットには統合されたレーザーと光学アライメントモデルが装備されています。これにより、基板をポイント・バイ・ポイントで露出できるようにしながら、正確な露出を実現します。これにより、偏差のない均一なパターニング体験が保証されます。VERTEQ 1800-6AR装置には、高度なデータ処理および通信ソリューションも装備されています。ロボットアームは、測定システムから直接コンピュータにデータを送信することができ、プログラマーやエンジニアは、ルーティング、圧力、温度を素早く調整することができます。これにより、微細加工プロセスで最も高速な応答と最大の柔軟性が得られます。この高精度制御機能と優れたサブナノメートル精度により、極めて精度と解像度の高いパターン作成に最適です。さらに、このマシンは統合された非常に詳細なエラー追跡システムと、エラーを検出して自動修正を提供するインテリジェントなマシンロジック機能を提供します。これにより、完璧な生産出力が保証されます。全体として、1800-6ARは微細加工プロセスを支援する幅広い機能と機能を備えた非常に精密なフォトレジストツールです。この資産は、可能な限り人間との相互作用リスクを最小限に抑えながら、最高レベルの精度を提供します。自動化されたロボットとフォトリソグラフィーエンジンの両方として倍増するこのモデルの能力は、最新の技術の進歩に追いつき、最も要求の厳しいマイクロファブリケーション環境で精度を提供することを可能にします。