中古 VERTEQ 1800-6AR #9073860 を販売中

VERTEQ 1800-6AR
製造業者
VERTEQ
モデル
1800-6AR
ID: 9073860
ウェーハサイズ: 8"
Spin rinse dryer, (SRD), 8".
VERTEQ 1800-6ARは、高品質のリソグラフィーマスクの工業生産のために設計された最先端のフォトレジスト機器です。このシステムは、マイクロプロセッサ、半導体部品、およびMEMS部品の製造に特に適しています。マスキングプロセスは、集積回路の製造における重要なステップであり、1800-6ARはこの重要なプロセスの時間とコストを削減するのに役立ちます。VERTEQ 1800-6ARは、高性能イオンビームスパッタリングユニットを使用して、フォトレジストを基板に堆積させます。このマシンは6軸ロボットアームを備えており、基板を制御された均一な方法で移動させ、基板のすべての表面に一貫した正確なフォトレジスト滴を確保します。これにより、高精度で大きく複雑なパターンを作成することができます。1800-6ARは強力な光源および抵抗の適切な露出を保障する高度のイメージ投射用具が装備されています。露出率は調整可能で、解像度を損なうことなくレジストの露出を高速化できます。イメージング資産は、パターン構造の欠陥を検出し、欠陥の検出と管理を容易にすることもできます。VERTEQ 1800-6ARには、化学開発者モデルと精密水スプレー装置が組み込まれています。化学開発者システムは、光にさらされなかった余分なレジストを除去します。これにより、パターンを迅速かつ正確に開発することができます。高精度のウォータースプレーユニットは、フォトレジストの正確かつ均一な洗浄を保証し、高品質のリソグラフィーマスクにつながります。高性能な機能に加えて、1800-6ARは直感的なユーザーインターフェイスも備えています。これにより、オペレータはマスキングプロセスを開始から終了まで迅速かつ簡単にプログラムおよび制御することができます。VERTEQ 1800-6ARには、マスキングプロセス中にマシンのパフォーマンスを監視し、問題を検出するための診断機能も内蔵されています。1800-6ARは、高品質の集積回路用リソグラフィマスクを製造するために使用できる信頼性の高い効率的なフォトレジストツールです。高度なイメージング資産、高精度ロボットアーム、直感的なユーザーインターフェースを備えたVERTEQ 1800-6ARは、正確さとスピードを必要とするマスク製造プロセスに最適なソリューションです。
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