中古 VERTEQ 1800-6AR #9070694 を販売中

製造業者
VERTEQ
モデル
1800-6AR
ID: 9070694
Spin rinse dryer, (SRD), 8" Single chamber Connections: CDA/N2, DI In, N2 In, DI Out Currently warehoused.
VERTEQ 1800-6ARフォトレジスト装置は、世界中の多くの生産プロセスにとって重要な部品です。このシステムは、さまざまな方法と材料源を使用して基板を構築、クリーン、および修復する能力をユーザーに提供する高性能で洗練されたユニットです。このマシンは、光源を内蔵したフォトマスクアライナーと精密レジストスピナーで構成されています。フォトマスクアライナーは、あらかじめ決められた一連のマスクを使用して基板を特定の形状に分割するために使用されます。次に、光学アライメントツールが露出した材料の層を調整します。レイヤーが露出した後、レジストスピナーはフォトレジスト材料を基板に適用します。異なるフォトレジスト材料を使用して、依然として敏感な領域を保持しながらレーザー放射に対する感受性を確保することができます。精密レジストスピナーは、18,000 RPMまでの速度で基板を回転させることができ、正確で正確な層の堆積を保証します。最高の設定では、スピナーは基板に均一な厚さを適用し、偏差を最小限に抑えて正確なレイヤー配置を可能にします。また、低いトルクレベルを備えているため、オペレータは基板をプロセス中に移動する際に一定の回転速度を維持することができます。スピナーには、安全性と空気に敏感な材料が汚染されないようにするための漏れ防止エアサポート資産も含まれています。このモデルは、基板上の空気を一定の純度で保つ温度コントローラを備えています。この装置はチャージニュートラルであり、レジスト層を基板に結合するために追加の電源または直流電流源を必要としません。この機能はさらに汚染を低減し、レイヤー配置の精度を高めながらプロセスを簡素化します。1800-6ARフォトレジストシステムは、高性能で直感的なユニットで、高耐久性のコンポーネントを一貫して構築するために必要なすべての機能を備えています。このマシンは、商用ベンダーやエンドユーザー向けに設計されています。
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