中古 VERTEQ 1800-6AL #9255522 を販売中

VERTEQ 1800-6ALは、基板の正確で効率的なパターニングを提供するように設計されたフォトレジスト機器です。このシステムは、高精度パターンアライメントを備えた低電圧、高速、レーザー技術ベースの露出ユニットを使用しています。露光装置は0。25ミクロンから1。5ミクロンの分解能を発揮し、マルチX技術では最大6波長のUV露光が可能です。レーザー露出は、20および50ワットのレーザー出力の露出が可能であり、また、アライメント層の露出のための偏光効果があります。また、アベレーションフリー解像度を備えた高速マスクレスアレイイルミネーション（MAI）露光、高速軸同期露光技術、パッシブ熱管理アセットも提供しています。このモデルは、x、 y、 zの測定と露出の自動化、および監視装置を備えており、正確で繰り返し可能なパターンを可能にします。1800-6ALには、多段式カセット露出ステーションと露出アーム安定化システムも含まれています。これらの両方の機能は、プロセスの安定性と性能の向上に貢献し、ユニットの効率的かつ継続的な動作を可能にします。VERTEQ 1800-6ALは、ダイレクトライトリソグラフィやインプリントリソグラフィなどの伝統的なフォトレジストプロセスに最適です。また、湿式加工やナノ粒子沈着など、さまざまなプロセス手順をサポートします。この機械は、液体エピタキシャル成長デバイス層、金属、セラミックス、ポリマー、ガラスなどの幅広い基板をパターン化するために使用できます。安全性の面では、このツールはCE準拠であり、緊急停止および緊急アクセス機能により、危険なシナリオで迅速にシャットオフできます。さらに、アセットは基板プロファイルとパターン構造のアライメントを自動的に監視することができ、すべてのプロセス手順が最も厳しい公差に準拠していることを確認します。1800-6ALは洗練された信頼性の高いフォトレジストモデルで、優れた解像度、改善されたプロセスの安定性、安全性を提供します。マルチxレーザー露光技術と自動監視装置は、一貫した正確な結果を提供するため、このシステムはさまざまなフォトレジストプロセスに最適です。