中古 VERTEQ 1800-6AL #9255507 を販売中

VERTEQ 1800-6ALフォトレジスト装置は、フォトリソグラフィ用途向けに設計された統合レジスト蒸着およびポスト露出ベーク（PEB）システムです。高性能レジストデリバリーと露出後のベーキングステーションを備え、プロセスの再現性を最適化するための専用温度と時間設定を提供します。1800-6ALは、設置面積を大幅に削減し、メンテナンスを簡素化する垂直構成で設計されています。機械は滑らかな抵抗の沈殿および一貫した抵抗の厚さを保障するために高精度、防蝕、抵抗の配達ポンプおよび真空ベンチュリを特色にします。直感的なユーザーインターフェイスは、最大12個のレシピを使用して使いやすいツールを提供し、ユーザーは目的のレジスト環境をすばやく設定できます。さらに、アセットにはホットプレートが装備されており、温度または時間範囲で調整可能な制御が可能です。露出後のベークステーションは、熱安定性と均一性を高めるアルミニウムで構成されています。それはまた露出中の一貫した抵抗の温度を維持するのを助ける高容量の熱された抵抗の皿が装備されています。VERTEQ 1800-6ALモデルは、さまざまなフォトリソグラフィ用途に適しており、プロセスとオペレータの安全性を考慮して設計されています。装置の主な特徴は、複数のプロセスが故障した場合の「フェイルセーフ」機能です。この機能により、これらの潜在的に危険な状況でシステムに追加の損傷を与えることはできません。また、メンテナンスフリーに設計されており、長寿命でメンテナンスコストを最小限に抑えることができます。結論として、1800-6ALフォトレジストマシンは、再現可能な高精度レジストデリバリーと均一なポストベーク温度を必要とするアプリケーションに理想的な選択肢です。プロセスとオペレータの安全を念頭に置いて設計されており、直感的なユーザーインターフェイスとフェイルセーフ機能を備えているため、このツールは高度なリソグラフィープロセスに最適です。