中古 VERTEQ 1800-6AL #9255500 を販売中

VERTEQ 1800-6ALは、半導体デバイス製造に使用されるフォトレジスト材料用に設計された、完全自動化化化学機械研磨（CMP）装置です。このシステムは、制御コンソールと自動送りユニットを内蔵しており、幅広いウエハサイズとプロセス仕様に対応できます。フォトレジスト平面化の設計により、ウェーハ全体に均一な表面仕上げが可能となり、歩留まりとデバイス性能が向上します。CMPマシンは、化学機械研磨（CMP）技術を使用して、フォトレジストウエハ上の精密な表面平面化を実現します。ケミカルエッチングから始まる2相プロセスを使用してフォトレジスト層の表面粗さを低減し、その後に物理的な磨きをかけてフォトレジスト表面を平準化します。このツールには、ウェーハ表面の接触圧力を精密に制御するためのさまざまなベルトテンションを可能にするプラテン構成が装備されています。アセット上のフィードバックループにより、ウェーハ全体にわたって均一な研磨率が確保され、プロセスの均一性が向上します。1800-6ALは、統合制御コンソールを使用してCMPプロセスを管理します。処理中に必要に応じてウェーハを送り、再ロードするための自動送りモデルを備えており、さまざまなタイプのフォトレジストウェーハや所望のプロセスに簡単に調整できる自動研磨パラメータを備えています。また、CMPプロセスのエンドポイントを監視し、必要に応じてプロセスパラメータを調整するエンドポイント制御システムを内蔵しています。このユニットは、半導体デバイス製造におけるフォトレジストウエハに使用するために特別に設計されています。信頼性が高く、使いやすく、インターロックやアラームなどの自動安全機能が搭載されており、オペレータや機器を保護します。ウェーハ上のフォトレジスト層を平面化するための費用対効果の高いソリューションであり、均一な仕上げにより歩留まり損失を低減し、デバイスの性能を向上させます。