中古 VERTEQ 1800-6AL #9101489 を販売中

製造業者
VERTEQ
モデル
1800-6AL
ID: 9101489
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2003
Dual stack systems, 8" (2) Rotors- A198-80MB Rear p/s controller (bottom) Start control panel Foot switch 2003 vintage.
VERTEQ 1800-6ALは、さまざまなフォトリソグラフィ用途向けに設計された高性能フォトレジスト装置です。高解像度マスクアライメント、高度な14ビット自動露出制御、スキャニングマスクデスクランブル機能、実験的なリアルタイム自動露出調整機能などの高度な設計機能を備えています。このユニットには、サンプルへの熱衝撃が少ない正確なパターンイメージングを保証するデュアルステージ低温イメージングが装備されています。また、ウェーハ、マスク、プラスチック基板など様々なサンプルタイプに対応できるサンプルステージを装備しています。1800-6ALは、デジタルイメージャ(DIA)とフォトレジストフィルムの両方で使用するためのデジタルマシンです。低温イメージングツールは、さまざまなデジタルマスキング用途に最適な高解像度のイメージング性能を提供します。高度な14ビット自動制御により、露出調整とパターン制御を簡単かつ正確に行うことができ、歪みを最小限に抑えた正確なパターンイメージングが可能です。このアセットは、広範囲の露光と温度で信頼性と再現性の高い画像処理結果を提供するように設計されています。また、イメージング精度を向上させるために、リアルタイム露光を調整することができます。装置は安全インターロックおよび調節可能な安全シュートが付いている最大オペレータ安全のために設計されています。LED照明の安全バリアは、オペレータがシュートを通過するときに露出したサンプルの高さを決定します。さらに、フォトリソグラフィを使用する際に潜在的な安全上の危険を検出および制御するために、さまざまなセンサーとアラームを備えています。このユニットは、高度な光学測定装置を使用して正確なマスクアライメントを可能にします。フォトリソグラフィでは、オリジナルからサンプルへの正確なパターン複製を保証するため、マスクアライメントが不可欠です。機械はまた露出レベル、スキャン速度および露出時間の精密な制御を提供できます。このアドバンスコントロールにより、パターン精度と高スループットが向上します。VERTEQ 1800-6ALは、さまざまなリソグラフィ用途向けに設計された高度なフォトレジストツールです。その高度な設計機能により、歪みを最小限に抑え、広範囲の露出と温度で正確なパターンイメージングを実現します。高度な14ビット自動制御により、露出調整とパターン制御、自動露出調整、正確なマスキングアライメント機能、調整可能な安全シュート、インテリジェントな安全インターロックにより、アセットはさまざまなデジタルマスキングアプリケーションに最適です。
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