中古 VERTEQ 1800-6AL #293816934 を販売中

VERTEQ 1800-6ALは、高度なフォトレジスト加工装置です。ウェーハや基板の開発、パターニング、エッチング用に設計されています。システムには高度なアライメントとフォトレジストステーションが装備されており、正確で反復可能で信頼性の高いダイレクトレーザパターニング、フォーカシング、エッチングが可能です。このユニットは、最大300mWのUVレーザーを使用しています。レーザーは高精度で再現性があり、正確にパターン化されたフォトレジスト構造を提供します。フォーカシングマシンとアライメントマシンは、複雑な構造や基板を処理する際に最適な結果を提供します。このツールのフォトレジストステーションは、スピンコーティング、プレベーキング、開発、ベーキングなど、すべてのフォトレジストプロセスを処理するように特別に設計されています。このステーションには、レジスト層の厚さを正確に測定するための資産も含まれています。装置のエッチングモデルは、金属、誘電材料、半導体材料など、さまざまな種類の材料を処理することができます。これは、エッチング速度のフラックスと均一性を制御するための負の圧力システムを備えています。このユニットには、適切なエッチング温度用の温度コントローラも含まれています。1800-6ALには、機械を制御および監視するためのソフトウェアパッケージが含まれています。このソフトウェアは、ツールのリモート操作とすべての結果のログを可能にします。また、高度なリモート診断とトラブルシューティングツールも含まれています。VERTEQ 1800-6ALは高度なフォトレジスト加工資産であり、複雑な構造や基板の正確で反復可能で信頼性の高いダイレクトレーザーパターニング、フォーカス、エッチングを提供します。さまざまな種類の材料を扱うように設計されており、モデルを制御および監視するための統合ソフトウェアパッケージが含まれています。この装置は、精度と高度に制御されたフォトレジストプロセスを必要とするアプリケーションに最適です。