中古 VERTEQ 1800-50 #9401930 を販売中

VERTEQ 1800-50フォトレジスト装置は、マイクロエレクトロニクスアプリケーションの高精度プロセス制御用に設計された高度なイメージングおよびエッチングシステムです。フォトレジスト技術を活用し、半導体ウェーハ上の薄膜層を正確に作製することで、高効率で高精度な超微細回路を製造できます。1800-50フォトレジストユニットの中心には洗練されたレチクルステージがあります。このステージは非常に精度が高く、基板に対してレチクルを高精度に配置することができます。X、 Y、 Z軸のモータと高精度の光学エンコーダのマシンを組み合わせた組み合わせは、包括的な機能のセットを提供し、ユーザーは大きなウェーハ基板を横切っても0。001mm以内に正確にレチクルを配置することができます。フォトレジストツールは、さまざまな洗練されたプロセスを利用して、レチクル上に形成されたパターンをウェーハ表面に正確に転送し、パターンを正確にエッチングします。まず、最先端の1.0KW水銀キセノンランプは、フォトレジストを露出するために必要なUVソースを提供し、特許取得済みのマルチビームDirectView™スキャナは、画像分野の正確な均一な照明を保証し、比類のない解像度と均一性を提供します。その後、水系および有機系の開発者を使用して、イメージングのスループットと利用可能な幅広いフォトレジスト製剤との互換性を最大化するように特別に設計されたポスト露光開発が行われます。パターン化されたフォトレジストのエッチングは、高度なエッチングガスの独自の資産を使用して行われます。これらのガスは、特殊なエッチングモデルと組み合わされ、高度な真空ポンプおよび精製技術で構築され、フローコントローラの精密機器によって制御され、さまざまな半導体製造プロセスに高速で正確かつ再現可能なエッチングを提供します。VERTEQ 1800-50フォトレジストシステムは、複数の層と高アスペクト比レイアウトを備えたソリューションスケール回路の製造に最適です。1800-50で提供される高度なイメージング、エッチング機能、およびユニットの安定性の組み合わせにより、複雑なデバイスを迅速かつ効率的に製造することができます。高度な診断とプロセス検証技術により、パラメータ/設定/基板が正しく処理され、ユーザーは一貫して高いプロセス歩留まりを維持できます。