中古 VERTEQ 1800-50 #9383159 を販売中
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VERTEQ 1800-50フォトレジスト装置は、パターン転送とウェハ生産のための汎用性と信頼性の高いプラットフォームです。半導体デバイス、ディスプレイ、高密度部品パッケージなど、さまざまな部品の製造に最適です。このシステムには、フォトリソグラフィープロセスの効率と精度を最大化するように設計された多数の機能とコンポーネントが装備されています。全自動、高速コンベアユニット、ローディングプラットフォーム、アンローディングプラットフォームが含まれています。アンローディングプラットフォームは、真空補助機構を使用して、穏やかで均一なローディングとアンローディング動作を提供します。マシンはまた、高速かつ簡単にマスクの切り替えを確保するために、トップローディングのマスクカセットトレイを備えています。また、自動追跡機を搭載し、マスクとウェーハの正確なアライメントを提供し、高精度なアライメントを実現しています。工具のプロセスチャンバーには、優れた照明のための明るいLED照明と、マスクの非常に正確な位置決めのための強力なステップとリピートアライメントのアセットが装備されています。高度なパターン認識モデルにより、オペレータはパターンをすばやく識別し、ウェーハ表面に正確に転送できます。さらに、装置は特定の生産条件を満たすためにカスタマイズすることができます。時間露出とプログラム可能な処理を可能にするソフトウェアと、自動化と高速製造をサポートする高度なプログラム可能なレシピプールが装備されています。また、マスク整列および露出プロセスに関与するすべてのプロセスを自動的に制御および管理することができ、マスク整列および露出プロセスのエラーを検出および管理するための包括的な診断ツールセットを提供します。このシステムは、モジュラー設計に基づいて構築されており、製造要件の変化に迅速に適応できます。このユニットは、最先端の安全機能を使用して、パターニングプロセスで使用される条件をシミュレートし、効果的な空気浄化と温度制御を提供します。さらに、高効率のエアスクラバーとダストキャッチャーは、クリーンな環境を確保し、一貫した露出測定を可能にします。全体的に、1800-50フォトレジストマシンは、汎用性、信頼性、費用対効果の高いソリューションを探している半導体メーカーにとって優れた選択肢です。精密パターン転送のための最も厳しい要件を満たすことができ、効率的で信頼性の高いウェーハ生産プラットフォームを提供します。
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