中古 VERTEQ 1800-50 #9383157 を販売中

VERTEQ 1800-50フォトレジスト装置は、フォトレジストのリソグラフィ操作のための強力で高度なソリューションです。最先端の技術を活用し、ポジティブなフォトレジスト加工のための最高レベルの精度を実現しています。このシステムは、高度な光学系を使用して、デバイスの修復/交換やその他の敏感なフォトレジストプロセスに最大限の精度と性能を提供します。ユニットには、一度に最大50個のウェハを移動できるウェハハンドリングステーションが含まれています。また、統合されたイメージアライナーとマスクレスリソグラフィーヘッドを備えています。イメージアライナーは、デザインレイアウトからウェーハへのリソグラフィパターンの正確かつ自動的な転送を提供します。リソグラフィーヘッドには、ライティングプロセスを監視し、フォトレジストの適切なアライメントを検証するために使用されるカメラがあります。フォトレジストをイメージするために使用される光の源でもあります。このマシンは、複数のウェーハにわたるパターンの繰り返し精度を確保するために使用される高精度の自動ウェーハ位置決めを備えています。また、ウエハ基板に正しいレベルの溶剤を塗布し、パターニングプロセス中に適切に保持するフォトレジストコーターも含まれています。高品質のパターンは、露光時間、アライメント、ドーピングのためのツールの自動制御によってさらに保証されます。アセットの自動化されたコンポーネントに加えて、1800-50にはマニュアルアライメントプロセスがあり、基板のパターニングを迅速かつ正確に修正することができます。このモデルには、パターニングプロセスのエラーや誤動作を検出するのに役立つ洗練されたアラーム機器も含まれています。最後に、システムには診断および分析パッケージが装備されており、ウェーハとそのパターンの詳細な評価が可能です。この解析パッケージには、パターンの品質を決定する高度なパターン解析エンジンが含まれており、生成されたデータの任意の異常を検出することができます。