中古 VERTEQ 1600 #9280736 を販売中

VERTEQ 1600は、電子、オプトエレクトロニクス、その他のMEMS（マイクロ電気機械）回路用の複雑で高精度なフォトリソグラフィーパターンの開発を可能にするために設計されたフォトレジスト機器です。このシステムは、高解像度カメラ、光源、およびリソグラフィーツールで構成されています。1600のカメラは、1色（3チャンネル）あたり12ビットで最大16メガピクセルのイメージングが可能で、内部照明ユニットが装備されています。このカメラは、グリッドパターンを使用して公称精度+/-5 umのパターンフレームを正確に整列させるデュアルマスクアライメントマシンを使用しています。この精度により、MEMSおよびオプトエレクトロニクス用途に最適な高精細、低損失イメージングが可能です。VERTEQ 1600の光源は、400ワットの短いアークランプで、均一で高輝度の照明を提供します。このツールには、露光時間とスペクトル範囲の柔軟性を可能にするデュアルライトフィルタリングアセットも組み込まれています。これにより、ユーザーは特定の要件とアプリケーションに基づいて照明と露光時間を調整することができます。1600のリソグラフィーツールは、フォトマスクの正確な露出を容易にします。統合されたステッピングモーターと独立したコントローラを使用して、あらゆる方向に完全な3次元の動きを容易にし、最高+/-7。5 umの位置決め精度であらゆる角度で高精度で再現可能な機能を作り出すことができます。リソグラフィーツールには、露出の可能な限り最高の忠実度を確保するためのフォーカシングモデルも含まれています。VERTEQ 1600は、電子回路と光電子回路の複雑なパターンの開発を可能にするように設計された高度なフォトレジスト機器です。高解像度カメラ、デュアルマスクアライメントシステム、400ワットの短いアークランプは、統合されたリソグラフィーツールに加えて、高精度の露出を可能にします。