中古 VERTEQ 1600 #293810265 を販売中

VERTEQ 1600
製造業者
VERTEQ
モデル
1600
ID: 293810265
ウェーハサイズ: 6"
Spin Rinse Dryer (SRD), 6".
VERTEQ 1600は、半導体産業におけるフォトリソグラフィの応用を促進するために設計された最先端のフォトレジスト機器です。このシステムは、高輝度の超紫色光源を使用して、サブミクロン回路素子の製造においてエッチマスクとして機能するフォトレジストフィルムを正確に露出させます。このユニットは、4kピクセルサイズと8 「x8」解像度の大きなマスクを備えており、64 mm x 64 mm基板の露出に対して高品質のフォトリソグラフィ性能を実現しています。また、VERTEQは、4つの露光光波をリニアまたはスパイラルスキャンパターンで回転させ、高精度な露光を実現するクアッドウェーブイメージングマシンを採用しています。また、高精度制御アセットを装備し、一貫性のある結果を保証し、XY位置の7-10 umと再現性のある25-50nmのフォーカス制御の許容値を維持することができます。また、完全に自動化されたオペレーティングモードを備えているため、露出パラメータと反復をプログラムできます。1600は、紫外線への暴露を防ぐためのインターロックモデル、ウェーハが余分な光から保護されていることを保証するカバー、正確な処理を保証するための高さ調整センサーなど、多くの安全機能が含まれています。装置は使いやすく、維持し易いように設計され、異なった製作の位置への便利な輸送のために密集した、軽量です。また、エネルギー効率が高く、高価な消耗品の必要性を最小限に抑えるように設計されています。全体として、VERTEQ 1600は、高度な半導体産業のニーズを満たすように設計された高度なフォトレジストシステムです。このユニットは、高精度の露出サブシステム、自動化された操作、ユーザーフレンドリーな設計、安全機能など、多くの利点をユーザーに提供します。
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