中古 VERTEQ 1600-NSC #9366559 を販売中

製造業者
VERTEQ
モデル
1600-NSC
ID: 9366559
ウェーハサイズ: 4"
Spin Rinse Dryer (SRD), 4".
VERTEQ 1600-NSCは、半導体などの集積回路デバイスで高精度な機能を作り出すために使用される次世代フォトレジスト機器です。このシステムは、高精度のマスクアライナー、露光源、および化学処理装置を含むフル機能のプラットフォームです。その結果、生産能力の向上、信頼性の向上、コスト削減のための機能の組み合わせを提供します。1600-NSCは0。3ミクロンの精度で動作できる精密な5軸マスクアライナーを備えており、高収率の部品に変換する高精度なアライメントと制御を保証します。また、高周波ランプ露出源を使用しており、高速で信頼性の高い露出ウェーハ速度を実現しています。高度なフォトレジストの選択により、ユーザーはハイコントラスト機能を可能にする望ましい光学特性を持つレジストを選択することができます。VERTEQ 1600-NSC内の化学処理機は、フォトレジストを安全かつ効率的に除去することができ、ドライエッチング剤、水系溶液、不活性ガスなどの除去用の様々な化学物質を保持しています。さらに、このツールは、ディープトレンチエッチングや塗りつぶしなどの多層プロセス技術をサポートし、フォトリソグラフィ、研磨、エッチング中の熱応力を低減するための効率的なウェーハの冷却を提供します。1600-NSCは半導体デバイスなどの精密製造に適しています。すべてのアセットコンポーネントの組み合わせは、高いスループットと短いサイクルタイムを確保するのに役立ち、お客様に生産コストを削減し、部品の全体的な品質を向上させる信頼性の高い汎用性の高いモデルが提供されることを保証します。
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