中古 VERTEQ 1600-M #9123187 を販売中

VERTEQ 1600-M
製造業者
VERTEQ
モデル
1600-M
ID: 9123187
Spin rinse dryer (SRD).
VERTEQ 1600-Mは、基板の高精度、高解像度パターニング用に設計されたデジタルフォトレジスト機器です。このシステムは、光学イメージングとレーザーパターニングを利用して、半導体材料やその他の基板の表面に高精度で均一なパターンフィーチャーを作成します。フォトレジストユニットには、高品質のスキャナ、レーザーパターニングエンジン、およびユーザーに基板パターニングの究極の制御を提供する高度なソフトウェアパッケージが装備されています。1600-Mはユーザーフレンドリーおよび作動すること容易であるように設計されています。高度なソフトウェアにより、ユーザーは機能をすばやく変更し、解像度を変更し、その他のパラメータを調整して最適なパターニング結果を得ることができます。このマシンには、0。5〜40ミクロンのスキャナも用意されており、異なる基板とレーザー分解能を可能にします。さらに、収差補正が利用可能で、基板全体の特徴シャープネスに役立ちます。可変速度スキャンにより、このツールは高いスループットレートを達成することができます。VERTEQ 1600-Mは、高精度の基板パターニングにデュアルビームアセットを使用しています。このモデルは、波長355nmまで調整できる1。06 μ mのレーザービームとUVレーザーで構成されています。デュアルビームメカニズムは、最適なフィーチャー配置とコントラストのための書き込み電力を最適化します。活性化されると、レーザーパルスは優れた精度と高解像度パターニングで基板表面を正確かつ均等に通過します。1600-Mには、緊急レーザーの遮断、危険保護、コヒーレンスおよび高調波に対する保護など、いくつかの安全機能も備えています。その水冷装置は、レーザーと基板に追加の冷却を提供し、過熱からシステムを同時に保護しながら、正確な基板パターニングを可能にします。VERTEQ 1600-Mは、半導体材料のパターニングに最高の解像度を提供する高度なフォトレジストユニットです。ユーザーフレンドリーなソフトウェアと使いやすいハードウェアにより、ユーザーは基板上に高精度で均一なパターンをすばやく作成できます。強力なレーザーマシンには、いくつかの安全機能が装備されており、高いスループットを達成しながら、最高の解像度を提供することができます。
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