中古 VERTEQ 1600-55M #9241976 を販売中

VERTEQ 1600-55Mは、マイクロエレクトロニクス、ナノスケールのデバイス・リソグラフィ用途におけるフォトレジスト向けの汎用性と強力な露光装置です。このシステムは、フォトマスク製造、MEMS、半導体デバイス製造、ナノスケールパターニング、MEMS製造など、さまざまな用途に幅広い機能と機能を提供します。1600-55Mは、6インチのチャックと55マイルのリトグラファー解像度フィールドを使用して、正確で信頼性の高い結果を得ることができます。チャックの表面は平坦性に優れ、均一な基板を作成してパターン露出の均一性と精度を最適化します。また、高精度なX-Yステージを搭載しており、基板全体に画像を正確に配置・転送します。この機能は、任意の露出のための正確な画像登録を可能にし、フォトレジストが均一であることを保証します。また、光線ポジショナーを内蔵しており、基板全体に画像プロジェクターを正確に配置することができます。これにより、正確なマスクアライメントが可能になり、ユーザーはウェーハから別のウェーハに簡単に画像をマッチさせることができます。このツールは、画像の自動保存、検索、分析を可能にする革新的なソフトウェアパッケージを搭載しています。このパッケージは、ユーザーが迅速かつ効率的に資産をセットアップし、操作することができます。VERTEQ 1600-55Mは、最高品質の露出結果を提供するように設計された最先端で堅牢なUV LEDベースの露光ソースを使用しています。これは254nmの発光を持つ短波長UV LEDソースで、フォトレジストの露出に最適な波長です。これにより、低用量でもフォトレジスト曝露のパラメータの再現性と安定性を実現します。また、フォトマスク用のレンズとサブミリ分解能のコアレスレンズの2種類のレンズアセンブリオプションを用意しています。コアレスレンズは、1ミリフィーチャーサイズの解像度と最大45度のスイング角度を備えています。これらの機能はすべて、さまざまなフォトレジスト用途1600-55M最適です。