中古 VERTEQ 1600-55M #9241900 を販売中

VERTEQ 1600-55Mフォトレジスト装置は、エッチング部品の高品質で精密なレジストを製造するために設計された高度なシステムです。これは、利用可能な最も信頼性が高く効率的なシステムの1つにする機能と機能の範囲を提供しています。1600-55Mは、基板上のフォトレジストを正確に露出するために2つの電子ビームを組み合わせた二重電子ビーム筆記ユニットです。これにより、優れた寸法精度と優れたスループットでパターンを作成することができます。この機械は、55 μ mの書き込み解像度を持つ大型の個別真空チャンバーを備えており、複雑なマイクロパターンを生成するのに最適です。全自動制御により、高い精度と精度を実現しています。また、洗練された光学ツールと高解像度CCDカメラを備えています。VERTEQ 1600-55Mは、ポリマー、金属、誘電体、半導体など幅広い基板に対応できるように設計されています。レイヤー、ライン、ドット、円、スロットなど、さまざまな機能を公開できます。このアセットは、薄膜トランジスタ、LED、フリップチップ部品、配線、および接触穴など、さまざまなパターンを作成するのに適しています。このモデルはまた、デュアル電子ガンパルスと回転コイル制御を備えています。これにより、パターンが基板全体にわたって優れた均一性で露出することが保証されますが、再現性は小さな領域で優れています。1600-55Mはまた、市場で最も先進的な基板位置決めシステムの1つを備えています。そのトリプルCCDリニアエンコーダは、基板の位置が正確に記録されるようにしますが、ペアのプリズマティックスライドは効率的で反復可能な動きを提供します。最終的に、VERTEQ 1600-55Mはエッチング部品の高品質で効率的なレジストを製造するための非常に高度なフォトレジスト装置です。高解像度、高精度、自動化された制御により、市場で最も信頼性が高く汎用性の高いフォトレジストシステムの1つです。