中古 VERTEQ 1600-55M #9123196 を販売中

VERTEQ 1600-55Mは、1時間あたり最大55ウェーハの生産速度を誇る高精度フォトレジスト加工装置です。それは2つの独立したキャビネットのポスト露出のベーク（PEB）そしてプログラムされた熱プロセスのために設計されています。このシステムは、同時に使用できる2つの加熱キャビネットで構成されており、ウェーハスループットと均一なプロセス温度を向上させます。シリコン、ポリシリコン、リン酸インジウム、ヒ素ガリウム、その他III-V化合物など、多種多様な基材・材料の加工が可能です。このユニットは、高速かつ正確に異なるポンプ露出のための複数のオプションを備えています。これには、正確な部品アライメントのためのX-Yモーションマシン、自動プログラマブルウェーハローダー、一次アベレーションとハイライトステッチのための内部スキャナーツールが含まれます。サンプルバイサンプルレシピ制御を可能にするために、手動ローディングキャリアも付属しています。このアセットは、プロセスの正確性と再現性を確保するために、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）によってサポートされています。これには、パラメータ調整とレシピ最適化ツールが含まれます。FOUPストッカなどの他のシステムと簡単に統合して、自動ローディングとアンロードを行うことができます。1600-55Mはまた、二次収差解析を含むプロセスのトレーサビリティを統合した高度なプロセス診断機能も提供しています。これは、プロセスの品質管理を維持するのに役立ちます。このモデルには、カスタマーサービスを改善するための電子メール診断メッセージを含むリモートサポートパッケージが含まれています。また、ほとんどのクリーンルームとの互換性のために設計されており、多種多様なアプリケーションに最適です。VERTEQ 1600-55Mは、ウェーハのスループット、精度、再現性を高めた信頼性の高いフォトレジスト加工装置です。直感的なGUIと高度な診断機能により、精密業界の生産アプリケーションに適した選択肢となります。