中古 VERTEQ 1600-55M #9000432 を販売中

VERTEQ 1600-55Mフォトレジスト装置は、フォトリソグラフィ用に設計された包括的な自動処理システムです。このユニットの汎用性と性能は、幅広いマイクロエレクトロニクスアプリケーションにとって重要な利点です。1600-55Mは、4「、6」、8「、12」（100、150、200、および300mm）ウェーハの処理に優れています。比類のない精度と精度を提供し、ウェーハからウェーハまで、並外れたレベルの均一性と再現性を備えています。このマシンには、高度でユーザーフレンドリーなコントローラが搭載されており、必要に応じてレジストの個々のカバーを割り当てるためにカスタマイズされた洗練されたレシピを提供します。コントローラは、リモートプログラムの実行に十分な強力性を備え、ウェーハ上のすべての重要なステップを自動化し、すべての処理機能を合理化します。ユーザーフレンドリーなソフトウェアは、特定のニーズを満たすために完全にカスタマイズ可能です。さらに、VERTEQ 1600-55Mはキャリッジで輸送することができ、オートローダを備えた従来型またはバッチ型の処理環境を含むあらゆるタイプのツールに素早く移動できます。アセットの電気機械プラットフォームは、コンポーネントの信頼性と耐久性を保証し、トラック上のウェーハの正確な位置決めを提供し、真の時間露出を最小限に抑えます。その信頼性の高いインデックス作成により、ネストされたウェーハであってもカバーの正確な登録が保証され、異なるカバーの一貫性を維持します。高度な温度制御機能により、ユーザーは25°Cから90°Cまでの温度を正確に調整でき、ウェーハ全体で均一な温度が保証されます。連続的な温度の監視は精密で、反復可能な結果を保障します。1600-55Mは業界で最も速い結晶化温度を備えています。温度の傾斜の最高30秒の沸騰時間；そして最高65秒の焼く時間。VERTEQ 1600-55Mは、障害検出とアライメント、サンプルバーコード制御、ツール光学性能監視、高度な分析のための幅広い統合されたスマート機能も提供しています。リアルタイムのダメージ防止と欠陥検出機能により、障害や誤検出を最小限に抑えます。1600-55Mは、幅広いマイクロエレクトロニクス用途に最適な強力で汎用性の高いフォトレジスト処理モデルです。高度な制御、優れた精度、精度、均一性、再現性、高速結晶化および焼成時間により、さまざまな業界に理想的なソリューションとなります。