中古 VERTEQ 1600-55A #9219682 を販売中

製造業者
VERTEQ
モデル
1600-55A
ID: 9219682
ウェーハサイズ: 4"
ヴィンテージ: 1997
Spin rinse dryer (SRD), 4" 1997 vintage.
VERTEQ 1600-55Aは、高精度集積回路の製造に使用される最先端のフォトレジスト機器です。複雑なビアやコンタクトホールの生産を可能にし、一貫した結果を持つダイナミックで均一なパターンを提供します。このシステムは、信頼性が高く、一貫性があり、正確なパターニングが必要な集積回路部品の量産に最適です。このユニットは、3軸レジストコーティングステージ、基板から基板への素早い交換のための自動スピンテーブル、および5軸レーザー露出機で構成されています。レーザースキャンと投影機能を組み合わせて、マルチビームとシングルビームの露光を提供します。マルチビームレーザー露光は、複数のレーザービームを集中させてターゲットに投影することで、微細なパターンを可能にします。単一のビームレーザー露出は、ターゲットに1つの焦点レーザービームのみを投影し、その結果、より大規模でより多くの被覆パターンを生成します。このツールは、4つのプロセス制御パラメータで設計されています。パラメータは、ビーム幅、ビーム高さ、ビーム強度、および時間です。ビーム幅はパターンの幅を定義し、ビームの高さはパターンの高さを決定します。ビーム強度と時間設定は、異なるパターンの配列を生成するために調整することができます。この柔軟性により、より良い結果とより高い精度の設計が可能になります。1600-55Aはまたレーザーが異なった基質に調節し、一貫したコーティングの正確さを保障することを可能にする自動調節の特徴を提供します。さらに、自動基板交換機能を備えており、基板を素早く交換でき、時間と労力を節約できます。結論として、VERTEQ 1600-55A Photoresist Assetは、複雑な機能と複雑なパターンを持つ集積回路の量産に最適なツールです。最先端のレーザースキャンおよび投影技術により、このモデルは信頼性が高く、一貫性があり、正確な結果を得ることができます。プロセス制御パラメータと自動調整機能を組み込むことで、設計をカスタマイズするための柔軟性と迅速な生産のための基板を迅速に交換する能力をユーザーに提供します。
まだレビューはありません